Садржај
1. Преглед и основне функције FOUP-а
2. Структурне и дизајнерске карактеристике FOUP-а
3. Смернице за класификацију и примену FOUP-а
4. Операције и значај FOUP-а у производњи полупроводника
5. Технички изазови и будући развојни трендови
6. XKH-ова прилагођена решења и сервисна подршка
У процесу производње полупроводника, контејнер са предњим отварањем (FOUP) је кључни контејнер који се користи за заштиту, транспорт и складиштење плочица. Његова унутрашњост може да прими 25 комада плочица од 300 мм, а његове главне компоненте укључују контејнер са предњим отварањем и посебан оквир врата за отварање и затварање. FOUP је носач језгра у аутоматизованом транспортном систему унутар фабрика плочица од 12 инча. Обично се транспортује у затвореном стању и отвара се тек када се гурне до отвора за утовар опреме, омогућавајући пренос плочица у отвор за утовар/истраж опреме.
Дизајн FOUP-а је прилагођен захтевима микроокружења. Има прорезе на задњој страни за уметање плочица, а поклопац је посебно дизајниран да се уклапа са стезаљком отварача. Роботи за руковање плочицама раде у окружењу са чистим ваздухом класе 1, осигуравајући да плочице нису контаминиране током преноса. Штавише, FOUP се помера између процесних алата помоћу аутоматизованог система за руковање материјалом (AMHS). Модерне фабрике плочица углавном користе надземне шинске системе за транспорт, док неколико старијих фабрика може користити аутоматизована вођена возила (AGV) са земље.
FOUP не само да омогућава аутоматизовани пренос плочица, већ служи и за складиштење. Због бројних производних корака, цео процес производње плочица може трајати месецима. У комбинацији са високим месечним обимом производње, то значи да су десетине хиљада плочица унутар фабрике стално у транзиту или привременом складишту у било ком тренутку. Током складиштења, FOUP-ови се периодично прочишћавају азотом како би се спречио контакт загађивача са плочицама, чиме се обезбеђује чист и поуздан производни процес.
1. Функције и значај FOUP-а
Основна функција FOUP-а је заштита плочица од спољашњих удара и контаминације, посебно избегавајући утицаје на принос током преноса. Он ефикасно спречава влагу методама као што су прочишћавање гасом и контрола локалне атмосфере (LAC), осигуравајући да плочице остану у безбедном стању док чекају следећи корак производње. Његов запечаћени и контролисани систем дозвољава улазак само неопходних једињења и елемената, значајно смањујући негативне ефекте испарљивих органских једињења, кисеоника и влаге на плочице.
Пошто FOUP потпуно напуњен са 25 плочица може тежити и до 9 килограма, његов транспорт мора да се ослања на систем за аутоматизовано руковање материјалом (AMHS). Да би се то олакшало, FOUP је дизајниран са различитим комбинацијама спојних плоча, пинова и рупа, и опремљен је RFID електронским ознакама за лаку идентификацију и класификацију. Ово аутоматизовано руковање готово да не захтева ручни рад, значајно смањујући стопу грешака и повећавајући безбедност и тачност производног процеса.
2. Структура и класификација FOUP-а
Типичне димензије FOUP-а су приближно 420 мм ширине, 335 мм дубине и 335 мм висине. Његове главне структурне компоненте укључују: горњу OHT (печуркасту главу) за транспорт надземном дизалицом; предња врата за приступ плочицама опреме; бочне ручке, често означене бојама како би се разликовале процесне области са различитим нивоима контаминације; простор за картице за постављање картица са порукама; и доњу RFID ознаку која служи као јединствени идентификатор за FOUP, омогућавајући алатима и надземним дизалицама да га препознају. База је такође опремљена са четири отвора за идентификацију и позиционирање за упаривање са алатима и разликовање процесних области.
На основу употребе, FOUP-ови се класификују у три типа: PRD (за производњу), ENG (за инжењерске плочице) и MON (за мониторске плочице). PRD FOUP-ови се могу користити за производњу производа, ENG типови су погодни за истраживање и развој или експерименте, а MON типови су намењени за праћење процеса за кораке као што су CMP и DIFF. Важно је напоменути да се PRD FOUP-ови могу користити и за ENG и за MON сврхе, а ENG типови се могу користити и за MON, али обрнути поступак представља ризик по квалитет.
Класификовани према нивоу контаминације, FOUP-ови се могу поделити на FE FOUP (поступак на почетку, без метала), BE FOUP (поступак на крају, садржи метал) и оне специјализоване за специфичне процесе са металом као што су NI FOUP, CU FOUP и CO FOUP. FOUP-ови за различите процесе се обично разликују по боји бочних ручки или панела врата. FOUP-ови из процеса на почетку могу се користити у процесима на крају, али FOUP-ови са краја се никада не смеју користити у процесима на почетку, јер би то изазвало ризик од контаминације.
Као кључни носилац у производњи полупроводника, FOUP, кроз високу аутоматизацију и строгу контролу контаминације, обезбеђује безбедност и чистоћу плочица током производног процеса, што га чини неопходном инфраструктуром у модерним фабрикама плочица.
Закључак
XKH је посвећен пружању купцима високо прилагођених решења за FOUP (Front-Opening Unified Pod), строго се придржавајући ваших специфичних захтева процеса и спецификација интерфејса опреме. Користећи напредну технологију материјала и прецизне производне процесе, осигуравамо да сваки FOUP производ пружа изузетну непропусност за ваздух, чистоћу и механичку стабилност. Наш технички тим поседује дубоко стручно знање у индустрији, нудећи свеобухватну подршку током животног циклуса - од консултација о избору и структурне оптимизације до чишћења и одржавања - осигуравајући беспрекорну интеграцију и ефикасну сарадњу између FOUP-а и вашег аутоматизованог система за руковање материјалом (AMHS), као и опреме за обраду. Доследно дајемо приоритет безбедности плочица и повећању приноса производње као нашим основним циљевима. Кроз иновативне производе и свеобухватне техничке услуге, пружамо робусну гаранцију за ваше процесе производње полупроводника, што на крају повећава ефикасност производње и принос производа.
Време објаве: 08.09.2025.