SiC керамички послужавник, крајњи ефектор, руковање плочицама, компоненте по мери
Кратак преглед прилагођених компоненти SiC керамике и алуминијумске керамике
Прилагођене керамичке компоненте од силицијум-карбида (SiC)
Керамичке компоненте од силицијум карбида (SiC) по мери су високо ефикасни индустријски керамички материјали познати по својимизузетно висока тврдоћа, одлична термичка стабилност, изузетна отпорност на корозију и висока топлотна проводљивостПрилагођене керамичке компоненте од силицијум-карбида (SiC) омогућавају одржавање структурне стабилности увисокотемпературна окружења, уз отпорност на ерозију од јаких киселина, алкалија и растопљених металаSiC керамика се производи процесима као што сусинтеровање без притиска, реакционо синтеровање или синтеровање врућим пресовањеми могу се прилагодити сложеним облицима, укључујући механичке заптивне прстенове, чауре вратила, млазнице, цеви за пећи, чамце за плочице и облоге отпорне на хабање.
Алумина керамичка прилагођена компонента
Наглашавају се прилагођене керамичке компоненте од алуминијумског оксида (Al₂O₃)висока изолација, добра механичка чврстоћа и отпорност на хабањеКласификоване по степену чистоће (нпр. 95%, 99%), керамичке компоненте од алуминијумског оксида (Al₂O₃) по мери са прецизном обрадом омогућавају њихову израду у изолаторе, лежајеве, алате за сечење и медицинске имплантате. Алуминијумска керамика се првенствено производи путемпоступци сувог пресовања, бризгања или изостатског пресовања, са површинама које се могу полирати до огледалског сјаја.
XKH је специјализован за истраживање и развој и производњу по наруџбиникерамика од силицијум карбида (SiC) и алуминијума (Al₂O₃)Производи од SiC керамике фокусирају се на окружења са високим температурама, високим хабањем и корозивним срединама, покривајући полупроводничке примене (нпр. чамци од плочица, конзолне лопатице, цеви за пећи), као и компоненте термалног поља и врхунске заптивке за нове енергетске секторе. Производи од алуминијумске керамике наглашавају изолациона, заптивајућа и биомедицинска својства, укључујући електронске подлоге, механичке заптивне прстенове и медицинске имплантате. Користећи технологије као што суизостатско пресовање, синтеровање без притиска и прецизна обрада, пружамо високо ефикасна прилагођена решења за индустрије, укључујући полупроводнике, фотонапонске системе, ваздухопловство, медицину и хемијску прераду, осигуравајући да компоненте испуњавају строге захтеве за прецизност, дуговечност и поузданост у екстремним условима.
SiC керамичке функционалне стезне главе и CMP брусни дискови Увод
SiC керамичке вакуумске стезне главе
Керамичке вакуумске стезне главе од силицијум карбида (SiC) су високопрецизни алати за адсорпцију произведени од високоперформансног керамичког материјала силицијум карбида (SiC). Посебно су дизајниране за примене које захтевају екстремну чистоћу и стабилност, као што су полупроводничка, фотонапонска и прецизна производна индустрија. Њихове главне предности укључују: површину полирану као огледало (равност контролисана у оквиру 0,3–0,5 μм), ултра високу крутост и низак коефицијент термичког ширења (обезбеђујући стабилност облика и положаја на нано нивоу), изузетно лагану структуру (значајно смањујући инерцију кретања) и изузетну отпорност на хабање (тврдоћа по Мохосу до 9,5, што далеко превазилази век трајања металних стезних глава). Ова својства омогућавају стабилан рад у окружењима са наизменичним високим и ниским температурама, јаком корозијом и руковањем великом брзином, значајно побољшавајући принос обраде и ефикасност производње прецизних компоненти попут плочица и оптичких елемената.
Силицијум-карбидна (SiC) вакуумска стезна глава за метрологију и инспекцију
Дизајниран за процесе инспекције дефеката плочица, овај високопрецизни алат за адсорпцију је направљен од керамичког материјала силицијум карбид (SiC). Његова јединствена структура површинских избочина пружа снажну силу вакуумске адсорпције, истовремено минимизирајући површину контакта са плочицом, чиме се спречава оштећење или контаминација површине плочице и обезбеђује стабилност и тачност током инспекције. Стезна глава се одликује изузетном равношћу (0,3–0,5 μм) и површином полираном као огледало, у комбинацији са ултралаком тежином и високом крутошћу како би се осигурала стабилност током кретања великом брзином. Његов изузетно низак коефицијент термичког ширења гарантује димензионалну стабилност при температурним флуктуацијама, док изузетна отпорност на хабање продужава век трајања. Производ подржава прилагођавање у спецификацијама од 6, 8 и 12 инча како би се задовољиле потребе инспекције различитих величина плочица.
Стезна глава за лепљење чипова са окретним дном
Стезна глава за спајање чипова методом флип-чип је кључна компонента у процесима спајања чипова, посебно дизајнирана за прецизно адсорбовање плочица како би се осигурала стабилност током операција спајања великом брзином и високом прецизношћу. Поседује површину полирану као огледало (равност/паралелизам ≤1 μм) и прецизне жлебове за гасне канале како би се постигла равномерна сила вакуумске адсорпције, спречавајући померање или оштећење плочице. Њена висока крутост и ултра низак коефицијент термичког ширења (близу силицијумског материјала) обезбеђују димензионалну стабилност у окружењима за спајање са високим температурама, док материјал високе густине (нпр. силицијум карбид или специјална керамика) ефикасно спречава продирање гаса, одржавајући дугорочну поузданост вакуума. Ове карактеристике заједно подржавају тачност спајања на микронском нивоу и значајно побољшавају принос паковања чипова.
SiC стезна глава
Силицијум-карбидна (SiC) стезна глава за лепљење је основни елемент у процесима лепљења чипова, посебно дизајнирана за прецизно адсорпцију и осигуравање плочица, обезбеђујући ултра-стабилне перформансе у условима лепљења на високим температурама и под високим притиском. Произведена од силицијум-карбидне керамике високе густине (порозност <0,1%), постиже равномерну расподелу силе адсорпције (одступање <5%) путем полирања огледалом на нанометарском нивоу (храпавост површине Ra <0,1 μm) и прецизних жлебова гасних канала (пречник пора: 5-50 μm), спречавајући померање плочице или оштећење површине. Њен ултра-низак коефицијент термичког ширења (4,5×10⁻⁶/℃) је уско повезан са коефицијентом термичког ширења силицијумских плочица, минимизирајући савијање изазвано термичким напрезањем. У комбинацији са високом крутошћу (модул еластичности >400 GPa) и равношћу/паралелношћу ≤1 μm, гарантује тачност поравнања лепљења. Широко се користи у полупроводничком паковању, 3Д слагању и интеграцији чиплета, подржава врхунске производне примене које захтевају наноскалну прецизност и термичку стабилност.
CMP брусни диск
ЦМП брусни диск је основна компонента опреме за хемијско-механичко полирање (ЦМП), посебно дизајниран да сигурно држи и стабилизује плочице током полирања великом брзином, омогућавајући глобалну планаризацију на нанометарском нивоу. Направљен од материјала високе крутости и густине (нпр. силицијум-карбидна керамика или специјалне легуре), обезбеђује равномерну вакуумску адсорпцију кроз прецизно пројектоване жлебове гасних канала. Његова површина полирана као огледало (равност/паралелизам ≤3 μм) гарантује контакт са плочицама без напрезања, док ултра низак коефицијент термичког ширења (усклађен са силицијумом) и унутрашњи канали за хлађење ефикасно сузбијају термичку деформацију. Компатибилан са плочицама од 12 инча (пречника 750 мм), диск користи технологију дифузионог спајања како би осигурао беспрекорну интеграцију и дугорочну поузданост вишеслојних структура под високим температурама и притисцима, значајно побољшавајући уједначеност и принос ЦМП процеса.
Прилагођени различити SiC керамички делови Увод
Квадратно огледало од силицијум карбида (SiC)
Квадратно огледало од силицијум карбида (SiC) је високопрецизна оптичка компонента произведена од напредне силицијум карбидне керамике, посебно дизајнирана за врхунску опрему за производњу полупроводника као што су литографске машине. Постиже ултралаку тежину и високу крутост (модул еластичности >400 GPa) захваљујући рационалном лаганом структурном дизајну (нпр. издубљивање у облику саћа на задњој страни), док његов изузетно низак коефицијент термичког ширења (≈4,5×10⁻⁶/℃) обезбеђује димензионалну стабилност при температурним флуктуацијама. Површина огледала, након прецизног полирања, постиже равност/паралелност ≤1 μm, а његова изузетна отпорност на хабање (тврдоћа по Мохосу 9,5) продужава век трајања. Широко се користи у радним станицама литографских машина, ласерским рефлекторима и свемирским телескопима где су ултрависока прецизност и стабилност критични.
Водичи за плутање ваздухом од силицијум карбида (SiC)
Вођице за ваздушно плутање од силицијум карбида (SiC) користе технологију бесконтактних аеростатских лежајева, где компримовани гас формира ваздушни филм микронског нивоа (типично 3-20μm) како би се постигло глатко кретање без трења и вибрација. Оне нуде нанометријску тачност кретања (тачност поновљеног позиционирања до ±75nm) и субмикронску геометријску прецизност (праволинија ±0,1-0,5μm, равност ≤1μm), што је омогућено контролом повратне спреге у затвореној петљи са прецизним решеткастим скалама или ласерским интерферометрима. Језгро од силицијум карбидне керамике (опције укључују Coresic® SP/Marvel Sic серију) пружа ултра високу крутост (модул еластичности >400 GPa), ултра низак коефицијент термичког ширења (4,0–4,5×10⁻⁶/K, одговарајући силицијум) и високу густину (порозност <0,1%). Његова лагана конструкција (густина 3,1 г/цм³, друга одмах после алуминијума) смањује инерцију кретања, док изузетна отпорност на хабање (тврдоћа по Мохосу 9,5) и термичка стабилност обезбеђују дугорочну поузданост у условима велике брзине (1 м/с) и великог убрзања (4 Г). Ове водилице се широко користе у литографији полупроводника, инспекцији плочица и ултрапрецизној обради.
Попречне греде од силицијум карбида (SiC)
Силицијум-карбидне (SiC) попречне греде су компоненте за кретање језгра дизајниране за полупроводничку опрему и врхунске индустријске примене, првенствено служе за ношење постоља плочица и њихово вођење дуж одређених путања за брзо, ултра-прецизно кретање. Користећи високо-перформансну силицијум-карбидну керамику (опције укључују Coresic® SP или Marvel Sic серију) и лагани структурни дизајн, постижу ултра-лаку тежину са високом крутошћу (модул еластичности >400 GPa), заједно са ултра-ниским коефицијентом термичког ширења (≈4,5×10⁻⁶/℃) и високом густином (порозност <0,1%), обезбеђујући нанометријску стабилност (равност/паралелизам ≤1μm) под термичким и механичким напрезањима. Њихова интегрисана својства подржавају операције велике брзине и великог убрзања (нпр. 1m/s, 4G), што их чини идеалним за литографске машине, системе за инспекцију плочица и прецизну производњу, значајно побољшавајући тачност кретања и ефикасност динамичког одзива.
Компоненте кретања од силицијум карбида (SiC)
Компоненте кретања од силицијум карбида (SiC) су критични делови дизајнирани за високопрецизне полупроводничке системе кретања, користећи SiC материјале високе густине (нпр. Coresic® SP или Marvel Sic серија, порозност <0,1%) и лагани структурни дизајн како би се постигла ултра мала тежина са високом крутоћом (модул еластичности >400 GPa). Са ултра ниским коефицијентом термичког ширења (≈4,5×10⁻⁶/℃), оне обезбеђују нанометријску стабилност (равност/паралелизам ≤1μm) под термичким флуктуацијама. Ова интегрисана својства подржавају операције велике брзине и великог убрзања (нпр. 1m/s, 4G), што их чини идеалним за литографске машине, системе за инспекцију плочица и прецизну производњу, значајно побољшавајући тачност кретања и ефикасност динамичког одзива.
Оптичка плоча од силицијум-карбида (SiC)
Оптичка плоча од силицијум карбида (SiC) је основна платформа дизајнирана за системе са двоструком оптичком путањом у опреми за инспекцију плочица. Произведена од високоперформансне силицијум карбидне керамике, постиже ултралаку тежину (густина ≈3,1 г/цм³) и високу крутост (модул еластичности >400 GPa) захваљујући лаганом структурном дизајну, уз ултра низак коефицијент термичког ширења (≈4,5×10⁻⁶/℃) и високу густину (порозност <0,1%), обезбеђујући нанометријску стабилност (равност/паралелизам ≤0,02 мм) под термичким и механичким флуктуацијама. Са својом великом максималном величином (900×900 мм) и изузетним свеобухватним перформансама, пружа дугорочно стабилну основу за монтажу оптичких система, значајно побољшавајући тачност и поузданост инспекције. Широко се користи у метрологији полупроводника, оптичком поравнању и високопрецизним системима за снимање.
Водећи прстен обложен графитом + тантал карбидом
Водећи прстен обложен графитом и тантал карбидом је критична компонента посебно дизајнирана за опрему за раст монокристала силицијум карбида (SiC). Његова основна функција је прецизно усмеравање протока гаса високе температуре, обезбеђујући уједначеност и стабилност температурних и проточних поља унутар реакционе коморе. Произведен од високочисте графитне подлоге (чистоћа >99,99%) обложене CVD-депонованим слојем тантал карбида (TaC) (садржај нечистоћа у премазу <5 ppm), показује изузетну топлотну проводљивост (≈120 W/m·K) и хемијску инертност на екстремним температурама (отпорност на температуре до 2200°C), ефикасно спречавајући корозију силицијумским парама и сузбијајући дифузију нечистоћа. Висока уједначеност премаза (одступање <3%, покривеност целе површине) обезбеђује конзистентно вођење гаса и дугорочну поузданост рада, значајно побољшавајући квалитет и принос раста монокристала SiC.
Апстракт цеви пећи од силицијум карбида (SiC)
Вертикална цев пећи од силицијум-карбида (SiC)
Вертикална цев за пећ од силицијум карбида (SiC) је критична компонента дизајнирана за индустријску опрему на високим температурама, првенствено служећи као спољна заштитна цев како би се осигурала равномерна расподела топлоте унутар пећи у ваздушној атмосфери, са типичном радном температуром од око 1200°C. Произведена помоћу технологије 3Д штампања интегрисаног обликовања, има садржај нечистоћа основног материјала <300 ppm и опционо може бити опремљена CVD силицијум карбидним премазом (нечистоће премаза <5 ppm). Комбинујући високу топлотну проводљивост (≈20 W/m·K) и изузетну стабилност на термички удар (отпорност на термалне градијенте >800°C), широко се користи у процесима на високим температурама као што су термичка обрада полупроводника, синтеровање фотонапонских материјала и производња прецизне керамике, значајно побољшавајући термичку униформност и дугорочну поузданост опреме.
Хоризонтална цев пећи од силицијум карбида (SiC)
Хоризонтална цев за пећ од силицијум-карбида (SiC) је основна компонента дизајнирана за процесе на високим температурама, која служи као процесна цев која ради у атмосферама које садрже кисеоник (реактивни гас), азот (заштитни гас) и трагове хлороводоника, са типичном радном температуром од око 1250°C. Произведена помоћу технологије 3Д штампања интегрисаног обликовања, има садржај нечистоћа основног материјала <300 ppm и опционо може бити опремљена CVD силицијум-карбидним премазом (нечистоће премаза <5 ppm). Комбинујући високу топлотну проводљивост (≈20 W/m·K) и изузетну стабилност на термички удар (отпорност на термалне градијенте >800°C), идеална је за захтевне полупроводничке примене као што су оксидација, дифузија и таложење танких филмова, обезбеђујући структурни интегритет, чистоћу атмосфере и дугорочну термичку стабилност у екстремним условима.
Увод у SiC керамичке виљушке
Производња полупроводника
У производњи полупроводничких плочица, SiC керамичке виљушке се првенствено користе за пренос и позиционирање плочица, које се обично налазе у:
- Опрема за обраду плочица: Као што су касете за плочице и процесни чамци, који стабилно раде у условима високе температуре и корозивног процесног окружења.
- Литографске машине: Користе се у прецизним компонентама попут позорница, водилица и роботских руку, где њихова висока крутост и ниска термичка деформација обезбеђују тачност кретања на нанометарском нивоу.
- Процеси нагризања и дифузије: Служећи као ICP посуде за нагризање и компоненте за процесе дифузије полупроводника, њихова висока чистоћа и отпорност на корозију спречавају контаминацију у процесним коморама.
Индустријска аутоматизација и роботика
SiC керамичке виљушке су кључне компоненте у високоперформансним индустријским роботима и аутоматизованој опреми:
- Роботски крајњи ефектори: Користе се за руковање, монтажу и прецизне операције. Њихова мала тежина (густина ~3,21 г/цм³) повећава брзину и ефикасност робота, док њихова висока тврдоћа (Викерсова тврдоћа ~2500) обезбеђује изузетну отпорност на хабање.
- Аутоматизоване производне линије: У сценаријима који захтевају високофреквентно, високопрецизно руковање (нпр. складишта за електронску трговину, фабричко складиштење), SiC виљушке гарантују дугорочно стабилне перформансе.
Ваздухопловство и нова енергија
У екстремним условима, SiC керамичке виљушке користе своју отпорност на високе температуре, отпорност на корозију и отпорност на термичке ударе:
- Ваздухопловство: Користи се у критичним компонентама свемирских летелица и дронова, где њихова лагана и високочврста својства помажу у смањењу тежине и побољшању перформанси.
- Нова енергија: Примењује се у производној опреми за фотонапонску индустрију (нпр. дифузионе пећи) и као прецизне структурне компоненте у производњи литијум-јонских батерија.
Индустријска обрада на високим температурама
Керамичке SiC виљушке могу да издрже температуре преко 1600°C, што их чини погодним за:
- Металуршка, керамичка и стакларска индустрија: Користи се у манипулаторима високих температура, плочама за померање и потисним плочама.
- Нуклеарна енергија: Због своје отпорности на зрачење, погодни су за одређене компоненте у нуклеарним реакторима.
Медицинска опрема
У медицинској области, SiC керамичке виљушке се првенствено користе за:
- Медицински роботи и хируршки инструменти: Цењени су због своје биокомпатибилности, отпорности на корозију и стабилности у условима стерилизације.
Преглед SiC премаза
| Типична својства | Јединице | Вредности |
| Структура |
| FCC β фаза |
| Оријентација | Делимични удео (%) | 111 преферирано |
| Густина запремине | г/цм³ | 3.21 |
| Тврдоћа | Викерсова тврдоћа | 2500 |
| Топлотни капацитет | Ј·кг-1 ·К-1 | 640 |
| Термичко ширење 100–600 °C (212–1112 °F) | 10-6K-1 | 4,5 |
| Јангов модул еластичности | Gpa (савијање од 4pt, 1300℃) | 430 |
| Величина зрна | μm | 2~10 |
| Температура сублимације | ℃ | 2700 |
| Фелексурална снага | MPa (RT 4-тачкаста) | 415 |
| Топлотна проводљивост | (W/mK) | 300 |
Преглед структурних делова од силицијум-карбидне керамике
Структурне компоненте од силицијум карбидне керамике добијају се од честица силицијум карбида спојених синтеровањем. Широко се користе у аутомобилској индустрији, машинској индустрији, хемијској индустрији, полупроводничкој технологији, свемирској технологији, микроелектроници и енергетском сектору, играјући кључну улогу у различитим применама у овим индустријама. Због својих изузетних својстава, структурне компоненте од силицијум карбидне керамике постале су идеалан материјал за тешке услове који укључују високу температуру, висок притисак, корозију и хабање, пружајући поуздане перформансе и дуговечност у захтевним радним окружењима.Преглед делова SiC заптивача
SiC заптивке су идеалан избор за тешке услове окружења (као што су висока температура, висок притисак, корозивне средине и хабање великом брзином) због своје изузетне тврдоће, отпорности на хабање, отпорности на високе температуре (издржавају температуре до 1600°C или чак 2000°C) и отпорности на корозију. Њихова висока топлотна проводљивост олакшава ефикасно одвођење топлоте, док њихов низак коефицијент трења и својства самоподмазивања додатно осигуравају поузданост заптивања и дуг век трајања у екстремним условима рада. Ове карактеристике чине SiC заптивке широко коришћеним у индустријама као што су петрохемија, рударство, производња полупроводника, пречишћавање отпадних вода и енергетика, значајно смањујући трошкове одржавања, минимизирајући време застоја и побољшавајући ефикасност и безбедност рада опреме.
Кратак преглед SiC керамичких плоча
Керамичке плоче од силицијум карбида (SiC) познате су по својој изузетној тврдоћи (тврдоћа по Мосовој скали до 9,5, одмах после дијаманта), изванредној топлотној проводљивости (далеко превазилази већину керамике по питању ефикасног управљања топлотом) и изванредној хемијској инертности и отпорности на термичке ударе (отпорне су на јаке киселине, алкалије и брзе температурне флуктуације). Ова својства осигуравају структурну стабилност и поуздане перформансе у екстремним условима (нпр. висока температура, абразија и корозија), уз продужење века трајања и смањење потреба за одржавањем.
SiC керамичке плоче се широко користе у областима високих перформанси:
• Абразиви и алати за брушење: Коришћење ултра високе тврдоће за производњу брусних точкова и алата за полирање, побољшавајући прецизност и издржљивост у абразивним окружењима.
• Ватростални материјали: Служе као облоге пећи и компоненте пећи, одржавајући стабилност изнад 1600°C ради побољшања термичке ефикасности и смањења трошкова одржавања.
• Полупроводничка индустрија: Делују као подлоге за електронске уређаје велике снаге (нпр. енергетске диоде и РФ појачала), подржавајући рад на високом напону и високим температурама ради повећања поузданости и енергетске ефикасности.
• Ливење и топљење: Замена традиционалних материјала у обради метала како би се осигурао ефикасан пренос топлоте и отпорност на хемијску корозију, побољшавајући металуршки квалитет и исплативост.
Апстракт SiC чамца са плочицама
XKH SiC керамички чамци пружају врхунску термичку стабилност, хемијску инертност, прецизно инжењерство и економску ефикасност, пружајући високо ефикасно решење за производњу полупроводника. Они значајно побољшавају безбедност руковања плочицама, чистоћу и ефикасност производње, што их чини неопходним компонентама у напредној изради плочица.
SiC керамички чамци Примене:
SiC керамички чамци се широко користе у предњим полупроводничким процесима, укључујући:
• Процеси таложења: као што су LPCVD (хемијско таложење из паре ниског притиска) и PECVD (хемијско таложење из паре побољшано плазмом).
• Обрада на високим температурама: Укључујући термичку оксидацију, жарење, дифузију и јонску имплантацију.
• Мокри поступци и поступци чишћења: Фазе чишћења плочица и руковања хемикалијама.
Компатибилан са атмосферским и вакуумским процесним окружењима,
Идеални су за фабрике које желе да минимизирају ризике од контаминације и побољшају ефикасност производње.
Параметри SiC чамца за плочице:
| Техничка својства | ||||
| Индекс | Јединица | Вредност | ||
| Назив материјала | Реакцијски синтеровани силицијум карбид | Синтеровани силицијум карбид без притиска | Рекристализовани силицијум карбид | |
| Састав | РБСиЦ | SSiC | R-SiC | |
| Густина запремине | г/цм3 | 3 | 3,15 ± 0,03 | 2,60-2,70 |
| Флексибилна чврстоћа | MPa (kpsi) | 338(49) | 380(55) | 80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
| Притисна чврстоћа | MPa (kpsi) | 1120(158) | 3970(560) | > 600 |
| Тврдоћа | Кнуп | 2700 | 2800 | / |
| Ломљење упорности | MPa m1/2 | 4,5 | 4 | / |
| Топлотна проводљивост | В/мк | 95 | 120 | 23 |
| Коефицијент термичког ширења | 10-60,1/°C | 5 | 4 | 4,7 |
| Специфична топлота | Џул/г 0k | 0,8 | 0,67 | / |
| Максимална температура ваздуха | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
| Модул еластичности | Просек | 360 | 410 | 240 |
Приказ разних прилагођених компоненти SiC керамике
SiC керамичка мембрана
SiC керамичка мембрана је напредно решење за филтрацију направљено од чистог силицијум карбида, са робусном трослојном структуром (носећи слој, прелазни слој и сепарациона мембрана) пројектованом процесима синтеровања на високим температурама. Овај дизајн обезбеђује изузетну механичку чврстоћу, прецизну расподелу величине пора и изванредну издржљивост. Одликује се у разним индустријским применама ефикасним одвајањем, концентровањем и пречишћавањем течности. Кључне примене укључују третман воде и отпадних вода (уклањање суспендованих чврстих материја, бактерија и органских загађивача), прераду хране и пића (бистрење и концентровање сокова, млечних производа и ферментисаних течности), фармацеутске и биотехнолошке операције (пречишћавање биолошких течности и интермедијара), хемијску прераду (филтрирање корозивних течности и катализатора) и примене у нафти и гасу (третман произведене воде и уклањање загађивача).
SiC цеви
SiC (силицијум карбид) цеви су високо ефикасне керамичке компоненте дизајниране за системе полупроводничких пећи, произведене од високочистог финозрног силицијум карбида кроз напредне технике синтеровања. Оне показују изузетну топлотну проводљивост, стабилност на високим температурама (издржавају преко 1600°C) и отпорност на хемијску корозију. Њихов низак коефицијент термичког ширења и висока механичка чврстоћа обезбеђују димензионалну стабилност под екстремним термичким циклусима, ефикасно смањујући термичко напрезање, деформацију и хабање. SiC цеви су погодне за дифузионе пећи, оксидационе пећи и LPCVD/PECVD системе, омогућавајући равномерну расподелу температуре и стабилне услове процеса како би се минимизирали дефекти плочице и побољшала хомогеност таложења танког филма. Поред тога, густа, непорозна структура и хемијска инертност SiC-а отпорне су на ерозију од реактивних гасова као што су кисеоник, водоник и амонијак, продужавајући век трајања и обезбеђујући чистоћу процеса. SiC цеви се могу прилагодити по величини и дебљини зида, а прецизна обрада постиже глатке унутрашње површине и високу концентричност како би се подржао ламинарни ток и уравнотежени термички профили. Опције полирања или премазивања површине додатно смањују стварање честица и побољшавају отпорност на корозију, испуњавајући строге захтеве производње полупроводника за прецизност и поузданост.
SiC керамичка конзолна лопатица
Монолитни дизајн конзолних SiC лопатица значајно побољшава механичку робусност и термичку униформност, елиминишући спојеве и слабе тачке уобичајене у композитним материјалима. Њихова површина је прецизно полирана до скоро огледалског сјаја, минимизирајући стварање честица и испуњавајући стандарде чистих просторија. Својствена хемијска инерција SiC спречава испуштање гасова, корозију и контаминацију процеса у реактивним срединама (нпр. кисеоник, пара), осигуравајући стабилност и поузданост у процесима дифузије/оксидације. Упркос брзом термичком циклусу, SiC одржава структурни интегритет, продужавајући век трајања и смањујући време застоја због одржавања. Лагана природа SiC омогућава бржи термички одзив, убрзавајући брзине загревања/хлађења и побољшавајући продуктивност и енергетску ефикасност. Ове лопатице су доступне у прилагодљивим величинама (компатибилне са плочицама од 100 мм до 300 мм+) и прилагођавају се различитим дизајнима пећи, пружајући конзистентне перформансе у процесима производње полупроводника на предњем и задњем крају.
Увод у вакуумску стезну главу од алуминијума
Вакуумске стезне главе од Al₂O₃ су кључни алати у производњи полупроводника, пружајући стабилну и прецизну подршку у вишеструким процесима:• Стањивање: Нуди равномерну подршку током стањивања плочице, обезбеђујући високо прецизно смањење подлоге ради побољшања одвођења топлоте чипа и перформанси уређаја.
• Сечење: Обезбеђује безбедну адсорпцију током сечења вафла, минимизирајући ризике од оштећења и обезбеђујући чисте резове за појединачне чипове.
• Чишћење: Његова глатка, уједначена површина за адсорпцију омогућава ефикасно уклањање загађивача без оштећења плочица током процеса чишћења.
•Транспорт: Пружа поуздану и сигурну подршку током руковања и транспорта плочица, смањујући ризик од оштећења и контаминације.
1. Једнообразна микропорозна керамичка технологија
•Користи нано-прахове за стварање равномерно распоређених и међусобно повезаних пора, што резултира високом порозношћу и равномерно густом структуром за конзистентну и поуздану подршку плочице.
2. Изузетна својства материјала
-Направљен од ултрачисте алуминијумске глинице (Al₂O₃) са 99,99%, показује:
•Термичка својства: Висока отпорност на топлоту и одлична топлотна проводљивост, погодно за полупроводничка окружења са високим температурама.
• Механичка својства: Висока чврстоћа и тврдоћа обезбеђују издржљивост, отпорност на хабање и дуг век трајања.
• Додатне предности: Висока електрична изолација и отпорност на корозију, прилагодљивост различитим производним условима.
3.Врхунска равност и паралелизам• Обезбеђује прецизно и стабилно руковање плочицама са високом равношћу и паралелизмом, минимизирајући ризике од оштећења и обезбеђујући конзистентне резултате обраде. Његова добра пропустљивост ваздуха и уједначена сила адсорпције додатно повећавају оперативну поузданост.
Вакуумска стезна глава од Al₂O₃ интегрише напредну микропорозивну технологију, изузетна својства материјала и високу прецизност како би подржала критичне процесе полупроводника, осигуравајући ефикасност, поузданост и контролу контаминације током фаза проређивања, сечења, чишћења и транспорта.
Алуминијумска роботска рука и алуминијумски керамички крајњи ефектор, кратак преглед
Роботске руке од алуминијумске (Al₂O₃) керамике су кључне компоненте за руковање плочицама у производњи полупроводника. Оне директно контактирају плочице и одговорне су за прецизан пренос и позиционирање у захтевним окружењима као што су вакуум или услови високе температуре. Њихова основна вредност лежи у обезбеђивању безбедности плочица, спречавању контаминације и побољшању оперативне ефикасности и приноса опреме захваљујући изузетним својствима материјала.
| Димензија карактеристике | Детаљан опис |
| Механичка својства | Алуминијум оксид високе чистоће (нпр. >99%) пружа високу тврдоћу (тврдоћа по Мохосу до 9) и чврстоћу на савијање (до 250-500 MPa), осигуравајући отпорност на хабање и избегавање деформација, чиме се продужава век трајања.
|
| Електрична изолација | Отпорност на собној температури до 10¹⁵ Ω·cm и чврстоћа изолације од 15 kV/mm ефикасно спречавају електростатичко пражњење (ESD), штитећи осетљиве плочице од електричних сметњи и оштећења.
|
| Термичка стабилност | Тачка топљења и до 2050°C омогућава издржавање процеса на високим температурама (нпр. RTA, CVD) у производњи полупроводника. Низак коефицијент термичког ширења минимизира савијање и одржава димензионалну стабилност под утицајем топлоте.
|
| Хемијска инертност | Инертан је према већини киселина, алкалија, процесних гасова и средстава за чишћење, спречавајући контаминацију честицама или ослобађање металних јона. Ово обезбеђује ултра чисто производно окружење и избегава контаминацију површине плочице.
|
| Друге предности | Зрела технологија обраде нуди високу исплативост; површине се могу прецизно полирати до ниске храпавости, што додатно смањује ризик од стварања честица.
|
Роботске руке од алуминијумске керамике се првенствено користе у процесима производње полупроводника на фронту, укључујући:
• Руковање и позиционирање плочица: Безбедно и прецизно преношење и позиционирање плочица (нпр. величина од 100 мм до 300 мм+) у вакууму или окружењу инертног гаса високе чистоће, минимизирајући ризик од оштећења и контаминације.
•Високотемпературни процеси: Као што су брзо термичко жарење (RTA), хемијско таложење из паре (CVD) и плазма нагризање, где одржавају стабилност на високим температурама, обезбеђујући конзистентност процеса и принос.
• Аутоматизовани системи за руковање плочицама: Интегрисани су у роботе за руковање плочицама као крајњи ефектори за аутоматизацију преноса плочица између опреме, повећавајући ефикасност производње.
Закључак
XKH је специјализован за истраживање и развој и производњу прилагођених керамичких компоненти од силицијум карбида (SiC) и алуминијума (Al₂O₃), укључујући роботске руке, конзолне лопатице, вакуумске стезне главе, чамце за плочице, цеви за пећи и друге високоперформансне делове, који се користе у полупроводницима, новој енергији, ваздухопловству и индустрији високих температура. Придржавамо се прецизне производње, строге контроле квалитета и технолошких иновација, користећи напредне процесе синтеровања (нпр. синтеровање без притиска, реакционо синтеровање) и технике прецизне обраде (нпр. CNC брушење, полирање) како бисмо осигурали изузетну отпорност на високе температуре, механичку чврстоћу, хемијску инертност и димензионалну тачност. Подржавамо прилагођавање на основу цртежа, нудећи прилагођена решења за димензије, облике, завршне обраде површина и квалитете материјала како бисмо задовољили специфичне захтеве клијената. Посвећени смо пружању поузданих и ефикасних керамичких компоненти за глобалну врхунску производњу, побољшавајући перформансе опреме и ефикасност производње за наше купце.
Повезани производи
-
Керамичка куглица SiC од силицијум-карбида, пречника 3 мм,...
-
Силицијум карбид призма / огледало за инфрацрвену оптику...
-
Силицијум карбид сноп Силицијум карбид сноп Редеф...
-
Алуминијумска керамичка рука прилагођена керамичкој роботској руци
-
Прилагођавање поликристалне Al2O3 алуминијумске керамике ...
-
SiC керамичка посуда за главну главу Керамичке вакуумске чашице пре...