12-инчна SiC подлога Пречник 300 мм Дебљина 750 μм 4H-N Тип се може прилагодити
Технички параметри
Спецификација подлоге од силицијум карбида (SiC) од 12 инча | |||||
Оцена | Производња ZeroMPD-а Оцена (З оцена) | Стандардна производња Оцена (оцена П) | Думми разред (Оцена Д) | ||
Пречник | 3 0 0 мм~1305 мм | ||||
Дебљина | 4H-N | 750μm±15 μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI | 750μm±15 μm | 750μm±25μm | |||
Оријентација плочице | Ван осе: 4,0° према <1120 >±0,5° за 4H-N, На оси: <0001>±0,5° за 4H-SI | ||||
Густина микроцеви | 4H-N | ≤0,4 цм-2 | ≤4 цм-2 | ≤25 цм-2 | |
4H-SI | ≤5 цм-2 | ≤10 цм-2 | ≤25 цм-2 | ||
Отпорност | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Примарна оријентација равног стана | {10-10} ±5,0° | ||||
Примарна дужина равне површине | 4H-N | Н/Д | |||
4H-SI | Зарез | ||||
Искључење ивица | 3 мм | ||||
LTV/TTV/Bow /Warp | ≤5μм/≤15μм/≤35 μм/≤55 μм | ≤5μм/≤15μм/≤35 □ μм/≤55 □ μм | |||
Храбост | Пољски Ra≤1 nm | ||||
ЦМП Ра≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
Пукотине на ивицама изазване светлошћу високог интензитета Шестоугаоне плоче са светлошћу високог интензитета Политипске области под високим интензитетом светлости Визуелне инклузије угљеника Огреботине на силицијумској површини изложене светлости високог интензитета | Ниједан Кумулативна површина ≤0,05% Ниједан Кумулативна површина ≤0,05% Ниједан | Кумулативна дужина ≤ 20 mm, појединачна дужина ≤ 2 mm Кумулативна површина ≤0,1% Кумулативна површина ≤ 3% Кумулативна површина ≤3% Кумулативна дужина ≤ 1 × пречник плочице | |||
Ивичне крхотине од светлости високог интензитета | Није дозвољена ширина и дубина ≥0,2 мм | 7 дозвољено, ≤1 mm сваки | |||
(TSD) Дислокација навојног завртња | ≤500 цм-2 | Н/Д | |||
(BPD) Дислокација основне равни | ≤1000 цм-2 | Н/Д | |||
Контаминација површине силицијума светлошћу високог интензитета | Ниједан | ||||
Паковање | Касета са више плочица или контејнер са једном плочицом | ||||
Напомене: | |||||
1 Ограничења за дефекте примењују се на целу површину плочице, осим на подручје искључења ивица. 2Огреботине треба проверити само на силиконској површини. 3 Подаци о дислокацијама су само са плочица нагризаних KOH. |
Кључне карактеристике
1. Производни капацитет и предности у погледу трошкова: Масовна производња 12-инчног SiC супстрата (12-инчни силицијум карбид супстрат) означава нову еру у производњи полупроводника. Број чипова који се могу добити из једне плочице достиже 2,25 пута већи број од 8-инчних супстрата, што директно доводи до скока у ефикасности производње. Повратне информације купаца указују да је усвајање 12-инчних супстрата смањило трошкове производње њихових модула напајања за 28%, стварајући одлучујућу конкурентску предност на жестоко конкурентном тржишту.
2. Изузетна физичка својства: 12-инчна SiC подлога наслеђује све предности силицијум карбидног материјала - њена топлотна проводљивост је 3 пута већа од силицијумске, док њена јачина пробојног поља достиже 10 пута већу од силицијумске. Ове карактеристике омогућавају уређајима заснованим на 12-инчним подлогама да стабилно раде у окружењима са високом температуром која прелази 200°C, што их чини посебно погодним за захтевне примене као што су електрична возила.
3. Технологија површинске обраде: Развили смо нови процес хемијско-механичког полирања (CMP) посебно за SiC подлоге од 12 инча, постижући равност површине на атомском нивоу (Ra < 0,15 nm). Овај пробој решава светски изазов површинске обраде силицијум-карбидних плочица великог пречника, уклањајући препреке за висококвалитетни епитаксијални раст.
4. Перформансе управљања топлотом: У практичним применама, 12-инчне SiC подлоге показују изванредне могућности одвођења топлоте. Подаци испитивања показују да под истом густином снаге, уређаји који користе 12-инчне подлоге раде на температурама 40-50°C нижим од уређаја на бази силицијума, значајно продужавајући век трајања опреме.
Главне примене
1. Нови екосистем енергетских возила: 12-инчна SiC подлога (12-инчна силицијум-карбидна подлога) револуционише архитектуру погонског склопа електричних возила. Од уграђених пуњача (OBC) до главних погонских инвертора и система за управљање батеријама, побољшања ефикасности која доносе 12-инчне подлоге повећавају домет возила за 5-8%. Извештаји водећег произвођача аутомобила указују да је усвајање наших 12-инчних подлога смањило губитак енергије у њиховом систему брзог пуњења за импресивних 62%.
2. Сектор обновљивих извора енергије: У фотонапонским електранама, инвертори базирани на 12-инчним SiC подлогама не само да имају мање факторе облика, већ и постижу ефикасност конверзије већу од 99%. Посебно у сценаријима дистрибуиране производње, ова висока ефикасност се преводи у годишње уштеде од стотина хиљада јуана у губицима електричне енергије за оператере.
3. Индустријска аутоматизација: Фреквентни конвертори који користе подлоге од 12 инча показују одличне перформансе у индустријским роботима, CNC алатним машинама и другој опреми. Њихове карактеристике високофреквентног прекидача побољшавају брзину одзива мотора за 30%, а истовремено смањују електромагнетне сметње на једну трећину конвенционалних решења.
4. Иновације у потрошачкој електроници: Технологије брзог пуњења паметних телефона следеће генерације почеле су да усвајају 12-инчне SiC подлоге. Пројектовано је да ће производи за брзо пуњење изнад 65W у потпуности прећи на силицијум-карбидна решења, при чему ће 12-инчне подлоге постати оптималан избор у погледу односа цене и перформанси.
XKH прилагођене услуге за SiC подлогу од 12 инча
Да би испунио специфичне захтеве за 12-инчне SiC подлоге (12-инчне силицијум-карбидне подлоге), XKH нуди свеобухватну сервисну подршку:
1. Прилагођавање дебљине:
Нудимо подлоге од 12 инча у различитим спецификацијама дебљине, укључујући 725μм, како бисмо задовољили различите потребе примене.
2. Концентрација допинга:
Наша производња подржава више типова проводљивости, укључујући подлоге n-типа и p-типа, са прецизном контролом отпорности у опсегу од 0,01-0,02Ω·cm.
3. Услуге тестирања:
Са комплетном опремом за тестирање на нивоу плочица, пружамо комплетне извештаје о инспекцији.
XKH разуме да сваки купац има јединствене захтеве за SiC подлоге од 12 инча. Стога нудимо флексибилне моделе пословне сарадње како бисмо пружили најконкурентнија решења, било да је у питању:
· Узорци истраживања и развоја
· Куповина производње великих количина
Наше прилагођене услуге осигуравају да можемо да задовољимо ваше специфичне техничке и производне потребе за SiC подлоге од 12 инча.


