156 мм 159 мм 6-инчна сафирна плочица за носач C-равни DSP TTV
Спецификација
| Ставка | 6-инчне C-равни (0001) сафирне плочице | |
| Кристални материјали | 99,999%, висока чистоћа, монокристални Al2O3 | |
| Оцена | Главни, спреман за епидемију | |
| Оријентација површине | C-раван(0001) | |
| Угао ван C-равни према M-оси 0,2 +/- 0,1° | ||
| Пречник | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
| Дебљина | 650 μm +/- 25 μm | |
| Примарна оријентација равног стана | C-раван (00-01) +/- 0,2° | |
| Једнострано полирано | Предња површина | Епи-полирано, Ra < 0,2 nm (AFM методом) |
| (ССП) | Задња површина | Фино млевено, Ra = 0,8 μm до 1,2 μm |
| Двострано полирано | Предња површина | Епи-полирано, Ra < 0,2 nm (AFM методом) |
| (ДСП) | Задња површина | Епи-полирано, Ra < 0,2 nm (AFM методом) |
| ТТВ | < 20 μm | |
| ЛУК | < 20 μm | |
| ВАРП | < 20 μm | |
| Чишћење / Паковање | Чишћење чистих просторија класе 100 и вакуумско паковање, | |
| 25 комада у једном касетном паковању или паковању од једног комада. | ||
Килопулосову методу (KY методу) тренутно користе многе компаније у Кини за производњу сафирних кристала за употребу у електронској и оптичкој индустрији.
У овом процесу, алуминијум оксид високе чистоће се топи у лончићу на температурама изнад 2100 степени Целзијуса. Обично је лончић направљен од волфрама или молибдена. Прецизно оријентисан кристал семена се урања у растопљени алуминијум. Кристал семена се полако повлачи нагоре и може се истовремено ротирати. Прецизном контролом температурног градијента, брзине извлачења и брзине хлађења, из растопљеног стања може се произвести велики, монокристални, скоро цилиндрични ингот.
Након што се узгајају инготи од монокристалног сафира, они се буше у цилиндричне шипке, које се затим секу на жељену дебљину прозора и коначно полирају до жељене површинске завршне обраде.
Детаљан дијаграм
