6-инчни проводни монокристални SiC на поликристалној SiC композитној подлози Пречник 150 мм P тип N тип

Кратак опис:

Проводљиви монокристални SiC на поликристалној композитној подлози од 6 инча представља иновативно решење од силицијум карбида (SiC) дизајнирано за електронске уређаје велике снаге, високе температуре и високе фреквенције. Ова подлога садржи активни слој монокристалног SiC везаног за поликристалну SiC базу кроз специјализоване процесе, комбинујући супериорна електрична својства монокристалног SiC са ценовним предностима поликристалног SiC.
У поређењу са конвенционалним потпуно монокристалним SiC подлогама, проводљива монокристална SiC на поликристалној композитној подлози од 6 инча одржава високу мобилност електрона и отпорност на висок напон, уз значајно смањење трошкова производње. Њена величина плочице од 6 инча (150 мм) осигурава компатибилност са постојећим производним линијама полупроводника, омогућавајући скалабилну производњу. Поред тога, проводљиви дизајн омогућава директну употребу у изради енергетских уређаја (нпр. MOSFET-ова, диода), елиминишући потребу за додатним процесима допирања и поједностављујући производне токове рада.

Пошаљите нам имејл

Детаљи производа

Ознаке производа

Технички параметри

Величина:	6 инч
Пречник:	150 мм
Дебљина:	400-500 μm
Параметри монокристалног SiC филма
Политип:	4H-SiC или 6H-SiC
Концентрација допинга:	1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ цм⁻³
Дебљина:	5-20 μm
Отпорност лима:	10-1000 Ω/м²
Мобилност електрона:	800-1200 цм²/Vs
Мобилност рупа:	100-300 цм²/Vs
Параметри поликристалног SiC бафер слоја
Дебљина:	50-300 μm
Топлотна проводљивост:	150-300 W/m·K
Параметри монокристалне SiC подлоге
Политип:	4H-SiC или 6H-SiC
Концентрација допинга:	1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ цм⁻³
Дебљина:	300-500 μm
Величина зрна:	> 1 мм
Храпавост површине:	< 0,3 мм RMS
Механичка и електрична својства
Тврдоћа:	9-10 Мохсових скала
Притисна чврстоћа:	3-4 ГПа
Затезна чврстоћа:	0,3-0,5 ГПа
Јачина поља разбијања:	> 2 MV/cm
Укупна толеранција на дозу:	> 10 Мрад
Отпорност на ефекат једног догађаја:	> 100 MeV·cm²/mg
Топлотна проводљивост:	150-380 W/m·K
Опсег радне температуре:	-55 до 600°C

Кључне карактеристике

6-инчни проводљиви монокристални SiC на поликристалној композитној подлози SiC нуди јединствену равнотежу структуре материјала и перформанси, што га чини погодним за захтевна индустријска окружења:

1. Исплативост: Поликристална SiC база значајно смањује трошкове у поређењу са потпуно монокристалним SiC, док активни слој монокристалног SiC-а обезбеђује перформансе уређаја, идеалне за примене осетљиве на цену.

2. Изузетна електрична својства: Монокристални SiC слој показује високу покретљивост носилаца (>500 цм²/V·s) и ниску густину дефеката, што подржава рад уређаја на високим фреквенцијама и великој снази.

3. Стабилност на високим температурама: Отпорност SiC-а на високе температуре (>600°C) осигурава да композитна подлога остане стабилна у екстремним условима, што је чини погодном за електрична возила и индустријске моторе.

Стандардизована величина плочице од 4,6 инча: У поређењу са традиционалним SiC подлогама од 4 инча, формат од 6 инча повећава принос чипа за преко 30%, смањујући трошкове по јединици уређаја.

5. Проводни дизајн: Претходно допирани слојеви N-типа или P-типа минимизирају кораке имплантације јона у производњи уређаја, побољшавајући ефикасност производње и принос.

6. Супериорно управљање топлотом: Топлотна проводљивост поликристалне SiC базе (~120 W/m·K) приближава се оној код монокристалног SiC-а, ефикасно решавајући изазове дисипације топлоте у уређајима велике снаге.

Ове карактеристике позиционирају 6-инчни проводљиви монокристални SiC на поликристалној композитној подлози SiC као конкурентно решење за индустрије као што су обновљиви извори енергије, железнички саобраћај и ваздухопловство.

Примарне примене

6-инчни проводни монокристални SiC на поликристалној композитној подлози SiC успешно је примењен у неколико веома тражених области:
1. Погонски склопови за електрична возила: Користи се у високонапонским SiC MOSFET-овима и диодама за побољшање ефикасности инвертора и продужење домета батерије (нпр. модели Тесла, BYD).

2. Индустријски моторни погони: Омогућава високотемпературне модуле са високом фреквенцијом прекидача, смањујући потрошњу енергије у тешкој машини и ветротурбинама.

3. Фотонапонски инвертори: SiC уређаји побољшавају ефикасност конверзије соларне енергије (>99%), док композитна подлога додатно смањује трошкове система.

4. Железнички транспорт: Примењује се у вучним конверторима за брзе железничке и метро системе, нудећи отпорност на високи напон (>1700V) и компактне облике.

5. Аерокосмичка индустрија: Идеално за сателитске системе напајања и кола за управљање моторима авиона, способно да издржи екстремне температуре и зрачење.

У практичној производњи, 6-инчни проводни монокристални SiC на поликристалној композитној подлози SiC је потпуно компатибилан са стандардним процесима SiC уређаја (нпр. литографија, нагризање), не захтевајући додатна капитална улагања.

XKH услуге

XKH пружа свеобухватну подршку за 6-инчни проводни монокристални SiC на поликристалној композитној подлози SiC, покривајући истраживање и развој до масовне производње:

1. Прилагођавање: Подесива дебљина монокристалног слоја (5–100 μм), концентрација допирања (1e15–1e19 цм⁻³) и оријентација кристала (4H/6H-SiC) како би се задовољили различити захтеви уређаја.

2. Обрада плочица: Велепродајна испорука подлога од 6 инча са услугама стањивања задње стране и метализације за интеграцију „укључи и користи“.

3. Техничка валидација: Укључује XRD анализу кристалности, испитивање Холовог ефекта и мерење термичке отпорности ради убрзавања квалификације материјала.

4. Брза израда прототипова: узорци од 2 до 4 инча (исти процес) за истраживачке институције ради убрзавања развојних циклуса.

5. Анализа и оптимизација отказа: Решења на нивоу материјала за изазове обраде (нпр. дефекти епитаксијалног слоја).

Наша мисија је да успоставимо 6-инчни проводни монокристални SiC на поликристалној композитној подлози SiC као преферирано решење за однос цене и квалитета SiC енергетске електронике, нудећи комплетну подршку од израде прототипова до серијске производње.

Закључак

Проводљива монокристална SiC на поликристалној композитној подлози од 6 инча постиже револуционарни баланс између перформанси и цене захваљујући својој иновативној моно/поликристалној хибридној структури. Како се електрична возила шире и Индустрија 4.0 напредује, ова подлога пружа поуздану материјалну основу за енергетску електронику следеће генерације. XKH поздравља сарадњу како би се даље истраживао потенцијал SiC технологије.