6-инчна силицијумска плочица CZ Si плочица N-типа или P-типа
Увођење кутије за вафле
Спецификације силицијумске плочице:
Раст силицијумских плочица од 6 инча: CZ, MCZ, FZ.
6. Разред силицијумских плочица: Prime, Test, Dummy, итд.
Пречник силицијумске плочице од 6 инча: 6 инча/150 мм.
Дебљина силицијумске плочице од 6 инча: 200~ 3000ум.
6-инчна силицијумска плочица Завршна обрада: Као сечено, преклопљено, гравирано, SSP, DSP, итд.
Оријентација силицијумске плочице од 6 инча: (100) (111) (110) (531) (553) итд.
6-инчна силицијумска плочица, исечена: до 4 степена.
6-инчна силицијумска плочица Тип/допант: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, интринзичан.
Отпорност силицијумске плочице од 6 инча: CZ/MCZ: од 0,001 до 1000 ом-цм. FZ: до 20k ом-цм.
Танки филмови силицијумске плочице од 6 инча: (а) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo итд., дебљине премаза до 20.000 Å/5%.
(б) LPCVD/PECVD: оксид, нитрид, siC, итд., дебљина премаза до 200.000 Å/3%.
(ц) Силицијумске епитаксијалне плочице и епитаксијалне услуге (SOS, GaN, GOI итд.).
Процеси производње силицијумских плочица од 6 инча: a.DSP, ултра танке, ултра равне итд.
б. Смањење величине, брушење уназад, сецкање на коцкице итд. ц. МЕМС.
Од 2010. године, компанија Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd је посвећена пружању купцима свеобухватних решења за силицијумске плочице од 4 инча, од плочица на нивоу отклањања грешака (Dummy Wafer), плочица на нивоу тестирања (Test Wafer), до плочица на нивоу производа (Prime Wafer), као и специјалних плочица, оксидних плочица (Oxide), нитридних плочица (Si3N4), плочица са алуминијумском облогом, силицијумских плочица са бакром, SOI плочица, MEMS стаклених плочица, прилагођених ултра дебелих и ултра равних плочица итд., са величинама у распону од 50 мм до 300 мм, а можемо да пружимо полупроводничке плочице са једностраним/двостраним полирањем, стањивањем, сецкањем, MEMS и другим услугама обраде и прилагођавања.
Детаљан дијаграм


