6-инчна SiC епитаксијална плочица N/P типа прихвата прилагођене

Процес припреме епитаксијалне плочице силицијум карбида је метода која користи технологију хемијског таложења из парне фазе (CVD). Следећи су релевантни технички принципи и кораци процеса припреме:

Технички принцип:

Хемијско таложење из парне фазе: Коришћењем гаса сировине у гасној фази, под специфичним реакционим условима, она се разлаже и таложи на подлогу да би се формирао жељени танки филм.

Реакција у гасној фази: Пиролизом или реакцијом крековања, различити гасови сировина у гасној фази се хемијски мењају у реакционој комори.

Кораци процеса припреме:

Обрада подлоге: Подлога се подвргава површинском чишћењу и претходној обради како би се осигурао квалитет и кристалност епитаксијалне плочице.

Отклањање грешака у реакционој комори: подесите температуру, притисак и брзину протока реакционе коморе и друге параметре како бисте осигурали стабилност и контролу реакционих услова.

Снабдевање сировинама: доставити потребне гасне сировине у реакциону комору, мешајући и контролишући проток по потреби.

Процес реакције: Загревањем реакционе коморе, гасовити сировински материјал подлеже хемијској реакцији у комори да би се произвео жељени талог, односно филм силицијум карбида.

Хлађење и растерећење: На крају реакције, температура се постепено снижава како би се охладили и учврстили наслаге у реакционој комори.

Епитаксијално жарење и накнадна обрада плочице: депонована епитаксијална плочица се жари и накнадно обрађује како би се побољшала њена електрична и оптичка својства.

Специфични кораци и услови процеса припреме епитаксијалних плочица силицијум карбида могу да варирају у зависности од специфичне опреме и захтева. Горе наведено је само општи ток и принцип процеса, специфична операција мора бити прилагођена и оптимизована према стварној ситуацији.