8-инчни СиЦ Подлога за производњу вафера 4Х-Н СиЦ
Следећа табела приказује спецификације наших 8-инчних СиЦ плочица:
8-инчни Н-тип СиЦ ДСП спецификације | |||||
Број | Ставка | Јединица | Производња | Истраживања | Думми |
1:параметри | |||||
1.1 | политип | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | површинска оријентација | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
2: Електрични параметар | |||||
2.1 | допант | -- | Азот н-типа | Азот н-типа | Азот н-типа |
2.2 | отпорност | охм ·цм | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
3: Механички параметар | |||||
3.1 | пречника | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
3.2 | дебљина | μм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Оријентација зареза | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Нотцх Дептх | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
3.5 | ЛТВ | μм | ≤5(10мм*10мм) | ≤5(10мм*10мм) | ≤10(10мм*10мм) |
3.6 | ТТВ | μм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Бов | μм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Варп | μм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | АФМ | nm | Ра≤0.2 | Ра≤0.2 | Ра≤0.2 |
4: Структура | |||||
4.1 | густина микро цеви | еа/цм2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | садржај метала | атома/цм2 | ≤1Е11 | ≤1Е11 | NA |
4.3 | ТСД | еа/цм2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | БПД | еа/цм2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | ТЕД | еа/цм2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5.Фронт квалитета | |||||
5.1 | фронт | -- | Si | Si | Si |
5.2 | површинска обрада | -- | Си-фаце ЦМП | Си-фаце ЦМП | Си-фаце ЦМП |
5.3 | честица | еа/вафл | ≤100 (величина≥0,3 μм) | NA | NA |
5.4 | огребати | еа/вафл | ≤5, Укупна дужина≤200мм | NA | NA |
5.5 | Едге струготине / удубљења / пукотине / мрље / контаминација | -- | Ниједан | Ниједан | NA |
5.6 | Политипске области | -- | Ниједан | Површина ≤10% | Површина ≤30% |
5.7 | предње обележавање | -- | Ниједан | Ниједан | Ниједан |
6: Квалитет леђа | |||||
6.1 | назад завршити | -- | Ц-фаце МП | Ц-фаце МП | Ц-фаце МП |
6.2 | огребати | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Ивица дефекта леђа чипс/увлаке | -- | Ниједан | Ниједан | NA |
6.4 | Храпавост леђа | nm | Ра≤5 | Ра≤5 | Ра≤5 |
6.5 | Означавање леђа | -- | Нотцх | Нотцх | Нотцх |
7:едге | |||||
7.1 | ивица | -- | Цхамфер | Цхамфер | Цхамфер |
8: Пакет | |||||
8.1 | паковање | -- | Епи-спреман са вакуумом паковање | Епи-спреман са вакуумом паковање | Епи-спреман са вакуумом паковање |
8.2 | паковање | -- | Мулти-вафер паковање касета | Мулти-вафер паковање касета | Мулти-вафер паковање касета |
Детаљан дијаграм
Напишите своју поруку овде и пошаљите нам је