Потпуно аутоматска опрема за сечење вафл прстенова, радна величина, сечење вафл прстенова 8 инча/12 инча

Кратак опис:

Компанија XKH је самостално развила потпуно аутоматски систем за сечење ивица плочица, који представља напредно решење дизајнирано за процесе производње полупроводника на фронту. Ова опрема укључује иновативну технологију вишеосног синхроног управљања и поседује систем вретена високе чврстоће (максимална брзина ротације: 60.000 о/мин), пружајући прецизно сечење ивица са тачношћу сечења до ±5μm. Систем показује одличну компатибилност са различитим полупроводничким подлогама, укључујући, али не ограничавајући се на:
1. Силицијумске плочице (Si): Погодне за обраду ивица плочица од 8-12 инча;
2. Сложени полупроводници: Полупроводнички материјали треће генерације као што су GaAs и SiC;
3. Специјалне подлоге: Пиезоелектрични материјални вафли, укључујући LT/LN;

Модуларни дизајн подржава брзу замену вишеструких потрошних материјала, укључујући дијамантске сечива и главе за ласерско сечење, са компатибилношћу која превазилази индустријске стандарде. За специјализоване захтеве процеса, пружамо свеобухватна решења која обухватају:
· Наменско снабдевање потрошним материјалом за сечење
· Услуге обраде по наруџбини
· Решења за оптимизацију параметара процеса

Пошаљите нам имејл

Карактеристике

Технички параметри

Параметар	Јединица	Спецификација
Максимална величина радног комада	mm	ø12"
Вретено	Конфигурација	Једно вретено
	Брзина	3.000–60.000 обртаја у минути
	Излазна снага	1,8 kW (2,4 опционо) при 30.000 min⁻¹
	Макс. пречник сечива	Ø58 mm
X-оса	Опсег сечења	310 мм
Y-оса	Опсег сечења	310 мм
	Повећање корака	0,0001 мм
	Тачност позиционирања	≤0,003 мм/310 мм, ≤0,002 мм/5 мм (једна грешка)
Z-оса	Резолуција покрета	0,00005 мм
Z-оса	Поновљивост	0,001 мм
θ-оса	Максимална ротација	380 степени
Тип вретена		Једно вретено, опремљено крутом оштрицом за сечење прстена
Прецизност сечења прстена	μm	±50
Тачност позиционирања плочице	μm	±50
Ефикасност једне плочице	мин/вафер	8
Ефикасност вишеструких плочица		До 4 вафле се обрађују истовремено
Тежина опреме	kg	≈3.200
Димензије опреме (Ш×Д×В)	mm	2.730 × 1.550 × 2.070

Принцип рада

Систем постиже изузетне перформансе кошења захваљујући овим основним технологијама:

1. Интелигентни систем за управљање кретањем:
· Високопрецизни линеарни моторни погон (тачност поновљеног позиционирања: ±0,5μm)
· Шестоосна синхрона контрола која подржава планирање сложене путање
· Алгоритми за сузбијање вибрација у реалном времену који обезбеђују стабилност сечења

2. Напредни систем за детекцију:
· Интегрисани 3Д ласерски сензор висине (тачност: 0,1 μm)
· CCD визуелно позиционирање високе резолуције (5 мегапиксела)
· Модул за онлајн инспекцију квалитета

3. Потпуно аутоматизован процес:
· Аутоматско утоваривање/пражњење (компатибилно са FOUP стандардним интерфејсом)
· Интелигентни систем сортирања
· Јединица за чишћење затвореног циклуса (чистоћа: класа 10)

Типичне примене

Ова опрема пружа значајну вредност у свим применама производње полупроводника:

Поље примене	Процесни материјали	Техничке предности
Производња интегрисаних кола (IC)	Силицијумске плочице од 8/12"	Побољшава поравнање литографије
Уређаји за напајање	SiC/GaN плочице	Спречава дефекте на ивицама
MEMS сензори	SOI плочице	Обезбеђује поузданост уређаја
РФ уређаји	GaAs плочице	Побољшава перформансе високих фреквенција
Напредно паковање	Реконституисане вафле	Повећава принос паковања

Карактеристике

1. Конфигурација са четири станице за високу ефикасност обраде;
2. Стабилно одвајање и уклањање ТАИКО прстена;
3. Висока компатибилност са кључним потрошним материјалом;
4. Технологија синхроног сечења са више осовина обезбеђује прецизно сечење ивица;
5. Потпуно аутоматизован ток процеса значајно смањује трошкове рада;
6. Прилагођени дизајн радног стола омогућава стабилну обраду посебних структура;

Функције

1. Систем за детекцију пада прстена;
2. Аутоматско чишћење радног стола;
3. Интелигентни систем за УВ одлепљивање;
4. Снимање дневника рада;
5. Интеграција модула за фабричку аутоматизацију;

Обавеза услуживања

XKH пружа свеобухватне услуге подршке током целог животног циклуса, осмишљене да максимизирају перформансе опреме и оперативну ефикасност током вашег производног процеса.
1. Услуге прилагођавања
· Прилагођена конфигурација опреме: Наш инжењерски тим тесно сарађује са клијентима како би оптимизовао системске параметре (брзина сечења, избор сечива итд.) на основу специфичних својстава материјала (Si/SiC/GaAs) и захтева процеса.
· Подршка за развој процеса: Нудимо обраду узорака са детаљним извештајима о анализи, укључујући мерење храпавости ивица и мапирање дефеката.
· Заједнички развој потрошног материјала: За нове материјале (нпр. Ga₂O₃), сарађујемо са водећим произвођачима потрошног материјала како бисмо развили сечива/ласерску оптику специфичну за примену.

2. Професионална техничка подршка
· Посвећена подршка на лицу места: Доделите сертификоване инжењере за критичне фазе увођења у рад (обично 2-4 недеље), које покривају:
Калибрација опреме и фино подешавање процеса
Обука за оспособљеност оператера
Упутство за интеграцију чистих просторија ISO класе 5
· Предиктивно одржавање: Кварталне провере исправности са анализом вибрација и дијагностиком серво мотора како би се спречили непланирани застоји.
· Даљинско праћење: Праћење перформанси опреме у реалном времену путем наше IoT платформе (JCFront Connect®) са аутоматским упозорењима на аномалије.

3. Услуге са додатом вредношћу
· База знања о процесима: Приступите више од 300 валидираних рецепата за сечење различитих материјала (ажурира се квартално).
· Усклађивање са технолошком мапом пута: Осигурајте будућност своје инвестиције уз путеве надоградње хардвера/софтвера (нпр. модул за детекцију дефеката заснован на вештачкој интелигенцији).
· Реаговање у хитним случајевима: Гарантована даљинска дијагноза у року од 4 сата и интервенција на лицу места у року од 48 сати (глобална покривеност).

4. Сервисна инфраструктура
· Гаранција учинка: Уговорна обавеза на ≥98% времена рада опреме уз време одзива поткрепљено SLA.

Континуирано побољшање

Спроводимо полугодишње анкете о задовољству купаца и имплементирамо Каизен иницијативе како бисмо побољшали пружање услуга. Наш тим за истраживање и развој претвара увиде са терена у надоградње опреме - 30% побољшања фирмвера потиче од повратних информација клијената.