Високоперформансни крајњи ефектор од алуминијумске керамике (виљушка) за аутоматизацију полупроводника и чистих просторија

Кратак опис:

Алуминијумски керамички крајњи ефектор, такође познат као керамичка виљушка или роботска керамичка рука, је високопрецизна компонента за руковање дизајнирана за аутоматизоване системе у полупроводничким, фотонапонским, панел дисплејима и лабораторијским окружењима високе чистоће. Пројектована је да пружи изузетну термичку стабилност, механичку чврстоћу и хемијску отпорност, нудећи чист, поуздан и безбедан транспорт осетљивих материјала као што су силицијумске плочице, стаклене подлоге и електронске микрокомпоненте.

Пошаљите нам имејл

Карактеристике

Детаљан дијаграм

Увод у производ

Као врста роботског крајњег ефектора, ова керамичка компонента је коначни интерфејс између система аутоматизације и радног предмета. Она игра кључну улогу у прецизном преносу, поравнању, утовару/истовару и позиционирању у чистим просторијама и вакуумским окружењима.

керамичка-рука-за-погон-полупроводника-Г13

керамичка-рука-за-погон-полупроводника-Г10

керамичка-рука-за-погон-полупроводника-G07

Преглед материјала – Алуминијумска керамика (Al₂O₃)

Алуминијумска керамика је високо стабилан и хемијски инертан технички керамички материјал познат по својим одличним механичким и електричним својствима. Алуминијумска глиница високе чистоће (≥ 99,5%) која се користи у овим крајњим ефекторима обезбеђује:

Висока тврдоћа (Мосова скала 9)Алумина, одмах после дијаманта, пружа екстремну отпорност на хабање.
Могућност отпорности на високе температуреОдржава структурни интегритет изнад 1600°C.
Хемијска инертностОтпорно на киселине, алкалије, раствараче и средине плазма нагризања.
Електрична изолацијаСа високом диелектричном чврстоћом и малим диелектричним губицима.
Ниско термичко ширењеОбезбеђује димензионалну стабилност у окружењима са термичким циклусима.
Ниско стварање честицаНеопходно за компатибилност са чистим просторијама (класа 10 до класе 1000).

Ове карактеристике чине алуминијумску керамику идеалном за критичне операције у индустријама осетљивим на контаминацију.

Функционалне апликације

Алумина керамички крајњи ефектор се широко примењује у високотехнолошким индустријским процесима, посебно тамо где традиционални метални или пластични материјали не успевају због термичког ширења, контаминације или проблема са корозијом. Кључна подручја примене укључују:

Пренос полупроводничке плочице
Системи за утовар и истовар фотолитографије
Руковање стакленим подлогама у OLED и LCD линијама
Пренос кристалних силицијумских плочица у производњи соларних ћелија
Аутоматизована оптичка или микроелектронска инспекција
Транспорт узорака у аналитичким или биомедицинским лабораторијама
Системи за аутоматизацију вакуумског окружења

Његова способност да ради без уношења честица или статичког наелектрисања чини га неопходним за прецизне роботске операције у аутоматизацији чистих просторија.

Карактеристике дизајна и прилагођавање

Сваки керамички крајњи ефектор је пројектован тако да одговара одређеној роботској руци или систему за руковање плочицама. Подржавамо потпуно прилагођавање на основу:

Компатибилност величине вафле2", 4", 6", 8", 12" и више
Геометрија и размак слотоваОмогућава хватање ивица, подршку са задње стране или дизајн са зарезом у облику плочице
Усисни отвориИнтегрисани вакуумски отвори или канали за руковање без контакта
Конфигурација монтажеРупе, навоји, прорези прилагођени прирубници крајњег алата вашег робота
Површинска обрадаПолирана, лепљена или фино брушена завршна обрада (доступно Ra < 0,2 µm)
Заштита ивицаЗаобљени углови или скошење како би се избегло оштећење плочице

Коришћењем CAD цртежа или 3D модела које су обезбедили купци, наши инжењери могу да оптимизују сваку виљушку у погледу тежине, чврстоће и чистоће.

ен_177_д780дае2бф2639е7дд5142ца3д29ц41д_имаге

Предности керамичких крајњих ефектора

Карактеристика	Корист
Висока механичка чврстоћа	Одржава димензионалну прецизност под роботским силама оптерећења
Одличне термичке перформансе	Поуздано функционише у окружењима високе температуре или плазме
Нулта контаминација металом	Нема ризика од контаминације јонима у критичној обради полупроводника
Површина са ниским трењем	Смањује ризик од огреботина на плочицама или стакленим подлогама
Антистатички и немагнетни	Не привлачи прашину нити утиче на магнетно осетљиве компоненте
Дуг век трајања	Супериорна отпорност на хабање у понављајућим циклусима аутоматизације велике брзине
Ултра-чиста компатибилност	Погодно за чисте собе по ISO 14644 стандарду (класа 100 и ниже)

У поређењу са пластичним или алуминијумским краковима, алуминијумска керамика пружа драматично побољшану хемијску и физичку стабилност уз минималне захтеве за одржавање.

Некретнина	Метална рука	Пластична рука	Алуминијумска керамичка рука
Тврдоћа	Умерено	Ниско	Веома високо (Мосова скала 9)
Термичка стабилност	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Хемијска отпорност	Умерено	Сиромашно	Одлично
Погодност за чисте просторије	Средњи	Ниско	Веома високо
Отпорност на хабање	Средњи	Ниско	Изузетан
Диелектрична чврстоћа	Ниско	Средњи	Високо
Прецизна обрада по мери	Ограничено	Умерено	Високо (могуће ±0,01 мм)

Техничке спецификације

Параметар	Вредност
Материјал	Алумина високе чистоће (≥ 99,5%)
Радна температура	До 1600°C
Храпавост површине	Ra ≤ 0,2 µm (опционо)
Компатибилне величине вафла	Од 2" до 12" или по мери
Толеранција равности	±0,01 mm (зависно од примене)
Подршка за вакуумско усисавање	Опциони, прилагодљиви канали
Опције монтаже	Пролазне рупе, прирубнице, прорези

Често постављана питања (FAQ)

П1: Да ли се крајњи ефектор може интегрисати у постојеће роботске системе?
А1:Да. Подржавамо прилагођавање на основу вашег роботског интерфејса. Можете нам послати CAD цртеж или димензије прирубнице за прецизно прилагођавање.

П2: Да ли ће се керамичке руке лако поломити током употребе?
А2:Иако је керамика по природи крхка, наши дизајни користе оптимизовану геометрију како би се минимизирала концентрација напрезања. Под правилним условима употребе, они пружају знатно дужи век трајања од метала или пластике.

П3: Да ли је могуће користити ово у коморама за ултрависоко вакуумско или плазма нагризање?
А3:Да. Алуминијумска керамика не испушта гасове, термички је стабилна и отпорна на корозију — савршено је погодна за окружења са високим вакуумом, реактивним гасовима или плазмом.

П4: Како се ове компоненте чисте или одржавају?
А4:Могу се чистити демилованом водом, алкохолом или детерџентима компатибилним са чистим просторијама. Није потребно посебно одржавање због њихове хемијске стабилности и инертне површине.

О нама

XKH је специјализован за високотехнолошки развој, производњу и продају специјалног оптичког стакла и нових кристалних материјала. Наши производи служе оптичкој електроници, потрошачкој електроници и војсци. Нудимо сафирне оптичке компоненте, поклопце за сочива мобилних телефона, керамику, LT, силицијум карбид SIC, кварц и полупроводничке кристалне плочице. Са стручним знањем и најсавременијом опремом, истичемо се у обради нестандардних производа, циљајући да будемо водеће високотехнолошко предузеће у области оптоелектронских материјала.