LiTaO3 литијум танталатни инготи са Fe/Mg допирањем, прилагођени 4 инча, 6 инча, 8 инча за индустријско мерење
Технички параметри
Спецификација | Конвенционални | Висока прецизност |
Материјали | LiTaO3(LT)/ LiNbO3 плочице | LiTaO3(LT)/LiNbO3 плочице |
Оријентација | X-112°Y, 36°Y, 42°Y±0,5° | X-112°Y, 36°Y, 42°Y±0,5° |
Паралелно | 30″ | 10'' |
Перпендикуларно | 10′ | 5' |
квалитет површине | 40/20 | 20/10 |
Дисторзија таласног фронта | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
Равност површине | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
Јасан отвор бленде | >90% | >90% |
Закошење | <0,2×45° | <0,2×45° |
Толеранција дебљине/пречника | ±0,1 мм | ±0,1 мм |
Максималне димензије | пречник 150×50 мм | пречник 150×50 мм |
XKH услуге
1. Производња ингота великих размера
Величина и сечење: инготи од 3–8 инча са X/Y/Z-резом, Y-резом од 42° и прилагођеним угаоним резовима (толеранција ±0,01°).
Контрола допинга: ко-допирање Fe/Mg Чохралским методом (опсег концентрација 10¹⁶–10¹⁹ цм⁻³) ради оптимизације фоторефрактивне отпорности и термичке стабилности.
2. Напредне процесне технологије
Хетерогена интеграција: Композитне плочице (POI) од LiTaO3 на бази силицијума са контролом дебљине (300–600 nm) и топлотном проводљивошћу до 8,78 W/m·K за високофреквентне SAW филтере.
Израда таласовода: Технике протонске размене (PE) и обрнуте протонске размене (RPE), постижући субмикронске таласоводе (Δn > 0,7) за брзе електрооптичке модулаторе (пропусни опсег > 40 GHz).
3. Системи управљања квалитетом
Тестирање од почетка до краја: Раманова спектроскопија (верификација политипа), XRD (кристалност), AFM (морфологија површине) и испитивање оптичке униформности (Δn <5×10⁻⁵).
4. Подршка глобалном ланцу снабдевања
Производни капацитет: Месечна производња >5.000 ингота (8 инча: 70%), уз подршку хитне испоруке у року од 48 сати.
Логистичка мрежа: Покривеност у Европи, Северној Америци и Азијско-пацифичком региону путем ваздушног/поморског транспорта са паковањем са контролисаном температуром.
5. Технички ко-развој
Заједничке лабораторије за истраживање и развој: Сарадња на платформама за фотонску интеграцију (нпр. везивање SiO2 слојева са малим губицима).
Резиме
Инготи LiTaO3 служе као стратешки материјали који преобликују оптоелектронику и квантне технологије. Кроз иновације у расту кристала (нпр. PVT), ублажавању дефеката и хетерогеној интеграцији (нпр. POI), испоручујемо високо поуздана, исплатива решења за 5G/6G комуникације, квантно рачунарство и индустријски IoT. Посвећеност XKH унапређењу смањења дефеката ингота и скалирању производње од 8 инча осигурава клијентима водећу позицију у глобалним ланцима снабдевања, покрећући следећу еру екосистема полупроводника са широким енергетским процепом.

