LiTaO3 плочица 2-8 инча 10x10x0,5 мм 1sp 2sp за 5G/6G комуникације
Технички параметри
Име | LiTaO3 оптичког квалитета | Ниво звучне таблице LiTaO3 |
Аксијално | Z-рез +/- 0,2° | 36° Y сечење / 42° Y сечење / X сечење (+ / - 0,2°) |
Пречник | 76,2 мм + / - 0,3 мм/ 100±0,2 мм | 76,2 мм +/- 0,3 мм 100 мм +/-0,3 мм 0 или 150±0,5 мм |
Референтна раван | 22 мм +/- 2 мм | 22 мм +/- 2 мм 32 мм +/- 2 мм |
Дебљина | 500um +/-5mm 1000um +/-5mm | 500um +/-20mm 350um +/-20mm |
ТТВ | ≤ 10μm | ≤ 10μm |
Киријева температура | 605 °C +/- 0,7 °C (DTA метода) | 605 °C +/-3 °C (DTA метода |
Квалитет површине | Двострано полирање | Двострано полирање |
Закошене ивице | заокруживање ивица | заокруживање ивица |
Кључне карактеристике
1. Електричне и оптичке перформансе
· Електрооптички коефицијент: r33 достиже 30 pm/V (X-cut), 1,5× више од LiNbO3, омогућавајући ултраширокопојасну електрооптичку модулацију (пропусни опсег >40 GHz).
· Широки спектрални одзив: Опсег преноса 0,4–5,0 μm (дебљина 8 mm), са ултраљубичастом апсорпционом ивицом од само 280 nm, идеално за UV ласере и квантне тачке.
· Низак пироелектрични коефицијент: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), што обезбеђује стабилност код инфрацрвених сензора високих температура.
2. Термичка и механичка својства
· Висока топлотна проводљивост: 4,6 W/m·K (X-cut), четвороструко већа од кварца, издржава термичке циклусе од -200–500°C.
· Низак коефицијент термичког ширења: CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), компатибилан са силиконским паковањем ради минимизирања термичког напрезања.
3. Контрола дефеката и прецизност обраде
· Густина микроцеви: <0,1 цм⁻² (плоче од 8 инча), густина дислокација <500 цм⁻² (проверено нагризањем KOH).
· Квалитет површине: CMP-полирано до Ra <0,5 nm, испуњава захтеве равности EUV литографског нивоа.
Кључне апликације
Домен | Сценарији примене | Техничке предности |
Оптичке комуникације | 100G/400G DWDM ласери, хибридни модули силицијумске фотонике | Широк спектрални пренос LiTaO3 плочице и мали губици у таласоводу (α <0,1 dB/cm) омогућавају проширење C-опсега. |
5G/6G комуникације | SAW филтери (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR филтери | Плочице са Y-сечењем од 42° постижу Kt² >15%, пружајући низак губитак уметања (<1,5 dB) и висок спад (>30 dB). |
Квантне технологије | Једнофотонски детектори, параметарски извори са конверзијом нанижења | Висок нелинеарни коефицијент (χ(2)=40 pm/V) и ниска брзина бројања у тами (<100 бројева/s) побољшавају квантну верност. |
Индустријска сензорска технологија | Сензори притиска високе температуре, струјни трансформатори | Пиезоелектрични одзив LiTaO3 плочице (g33 >20 mV/m) и толеранција на високе температуре (>400°C) одговарају екстремним условима. |
XKH услуге
1. Израда плочица по наруџби
· Величина и сечење: плочице од 2–8 инча са X/Y/Z-резом, Y-резом од 42° и прилагођеним угаоним резовима (толеранција ±0,01°).
· Контрола допинга: допирање Fe, Mg методом Чохралског (опсег концентрација 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) ради оптимизације електрооптичких коефицијената и термичке стабилности.
2. Напредне процесне технологије
· Периодично полирање (PPLT): Smart-Cut технологија за LTOI плочице, постижући прецизност периода домена од ±10 nm и квази-фазно усклађену (QPM) конверзију фреквенције.
· Хетерогена интеграција: Композитне плочице (POI) од LiTaO3 на бази Si са контролом дебљине (300–600 nm) и топлотном проводљивошћу до 8,78 W/m·K за високофреквентне SAW филтере.
3. Системи управљања квалитетом
· Тестирање од почетка до краја: Раманова спектроскопија (верификација политипа), XRD (кристалност), AFM (морфологија површине) и испитивање оптичке униформности (Δn <5×10⁻⁵).
4. Подршка глобалном ланцу снабдевања
· Производни капацитет: Месечна производња >5.000 плочица (8 инча: 70%), са хитном испоруком у року од 48 сати.
· Логистичка мрежа: Покривеност у Европи, Северној Америци и Азијско-пацифичком региону путем ваздушног/поморског транспорта са паковањем са контролисаном температуром.


