LT литијум танталат (LiTaO3) кристал, 2 инча/3 инча/4 инча/6 инча, оријентација Y-42°/36°/108°, дебљина 250-500um
Технички параметри
Име | LiTaO3 оптичког квалитета | Ниво звучне таблице LiTaO3 |
Аксијално | Z-рез +/- 0,2° | 36° Y сечење / 42° Y сечење / X сечење(+ / - 0,2°) |
Пречник | 76,2 мм + / - 0,3 мм/100±0,2 мм | 76,2 мм +/- 0,3 мм100 мм +/-0,3 мм 0 или 150±0,5 мм |
Референтна раван | 22 мм +/- 2 мм | 22 мм +/- 2 мм32 мм +/- 2 мм |
Дебљина | 500um +/-5mm1000um +/-5mm | 500um +/-20mm350um +/-20mm |
ТТВ | ≤ 10μm | ≤ 10μm |
Киријева температура | 605 °C +/- 0,7 °C (DTA метода) | 605 °C +/-3 °C (DTA метода |
Квалитет површине | Двострано полирање | Двострано полирање |
Закошене ивице | заокруживање ивица | заокруживање ивица |
Кључне карактеристике
1. Кристална структура и електричне перформансе
· Кристалографска стабилност: 100% доминација политипа 4H-SiC, нула мултикристалних инклузија (нпр. 6H/15R), са XRD кривом љуљања пуне ширине на половини максимума (FWHM) ≤32,7 лучних секунди.
· Висока мобилност носилаца: мобилност електрона од 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) и мобилност шупљина од 380 cm²/V·s, што омогућава дизајн уређаја високих фреквенција.
·Радиациона отпорност: Отпорна је на неутронско зрачење од 1 MeV са прагом оштећења услед померања од 1×10¹⁵ n/cm², идеално за ваздухопловне и нуклеарне примене.
2. Термичка и механичка својства
· Изузетна топлотна проводљивост: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), троструко већа од силицијума, подржава рад изнад 200°C.
· Низак коефицијент термичког ширења: CTE од 4,0×10⁻⁶/K (25–1000°C), што обезбеђује компатибилност са паковањем на бази силицијума и минимизира термички стрес.
3. Контрола дефеката и прецизност обраде
· Густина микроцеви: <0,3 цм⁻² (плоче од 8 инча), густина дислокација <1.000 цм⁻² (проверено нагризањем KOH).
· Квалитет површине: CMP-полирано до Ra <0,2 nm, испуњава захтеве равности EUV литографског нивоа.
Кључне апликације
Домен | Сценарији примене | Техничке предности |
Оптичке комуникације | 100G/400G ласери, силицијумски фотонски хибридни модули | InP супстрати за семе омогућавају директну енергетску забрањену ширину (1,34 eV) и хетероепитаксију на бази Si, смањујући губитак оптичке спреге. |
Возила нове енергије | Високонапонски инвертори од 800 V, уграђени пуњачи (OBC) | 4H-SiC подлоге издржавају >1.200 V, смањујући губитке проводљивости за 50% и запремину система за 40%. |
5G комуникације | Милиметарски таласни РФ уређаји (PA/LNA), појачала снаге базних станица | Полуизолационе SiC подлоге (отпорност >10⁵ Ω·cm) омогућавају пасивну интеграцију високих фреквенција (60 GHz+). |
Индустријска опрема | Сензори високе температуре, струјни трансформатори, монитори нуклеарних реактора | InSb подлоге за семе (енергетски процеп од 0,17 eV) пружају магнетну осетљивост до 300% при 10 T. |
LiTaO₃ плочице - кључне карактеристике
1. Врхунске пиезоелектричне перформансе
· Високи пиезоелектрични коефицијенти (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0,5%) омогућавају високофреквентне SAW/BAW уређаје са губитком уметања <1,5dB за 5G RF филтере
· Одлична електромеханичка спрега подржава дизајн филтера широког пропусног опсега (≥5%) за примене испод 6 GHz и mmWave
2. Оптичка својства
· Транспарентност широкопојасног опсега (>70% преноса од 400-5000nm) за електрооптичке модулаторе који постижу пропусни опсег >40GHz
· Јака нелинеарна оптичка сусцептибилност (χ⁽²⁾~30pm/V) олакшава ефикасно генерисање другог хармоника (SHG) у ласерским системима
3. Стабилност животне средине
· Висока Киријева температура (600°C) одржава пиезоелектрични одзив у окружењима аутомобилског квалитета (-40°C до 150°C)
· Хемијска инертност према киселинама/алкалијама (pH 1-13) обезбеђује поузданост у индустријским сензорским применама
4. Могућности прилагођавања
· Оријентациони инжењеринг: X-рез (51°), Y-рез (0°), Z-рез (36°) за прилагођене пиезоелектричне одзиве
· Опције допирања: допирано Mg (отпорност на оптичка оштећења), допирано Zn (побољшано d₃₃)
· Површинска завршна обрада: полирање спремно за епитаксијално полирање (Ra<0,5nm), ITO/Au метализација
LiTaO₃ плочице - примарне примене
1. РФ фронт-енд модули
· 5G NR SAW филтери (опсег n77/n79) са температурним коефицијентом фреквенције (TCF) <|-15ppm/°C|
· Ултраширокопојасни BAW резонатори за WiFi 6E/7 (5,925-7,125 GHz)
2. Интегрисана фотоника
· Брзи Мах-Цендерови модулатори (>100 Gbps) за кохерентну оптичку комуникацију
· QWIP инфрацрвени детектори са подесивим таласним дужинама од 3-14μm
3. Аутомобилска електроника
· Ултразвучни паркинг сензори са радном фреквенцијом >200kHz
· TPMS пиезоелектрични претварачи који издржавају термичке циклусе од -40°C до 125°C
4. Одбрамбени системи
· EW филтери пријемника са потискивањем ван опсега >60dB
· Инфрацрвени прозори трагача ракете који емитују 3-5μm MWIR зрачење
5. Нове технологије
· Оптомеханички квантни претварачи за микроталасну у оптичку конверзију
· PMUT низови за медицинско ултразвучно снимање (резолуција >20MHz)
LiTaO₃ плочице - XKH услуге
1. Управљање ланцем снабдевања
· Обрада од буле до плочице са роком испоруке од 4 недеље за стандардне спецификације
· Трошковно оптимизована производња која пружа 10-15% ценовне предности у односу на конкуренцију
2. Прилагођена решења
· Оријентационо специфично вафлирање: 36°±0,5° Y-рез за оптималне перформансе SAW-а
· Допирани састави: допирање MgO (5mol%) за оптичке примене
Услуге метализације: обликовање Cr/Au (100/1000Å) електрода
3. Техничка подршка
· Карактеризација материјала: XRD криве љуљања (FWHM<0,01°), AFM анализа површине
· Симулација уређаја: FEM моделирање за оптимизацију дизајна SAW филтера
Закључак
LiTaO₃ плочице настављају да омогућавају технолошки напредак у РФ комуникацијама, интегрисаној фотоници и сензорима за тешке услове рада. XKH-ова стручност у области материјала, прецизност производње и подршка применског инжењерства помажу купцима да превазиђу изазове у дизајну електронских система следеће генерације.


