Узоркована сафирна подлога PSS 2 инча 4 инча 6 инча ICP суво нагризање може се користити за ЛЕД чипове
Основна карактеристика
1. Карактеристике материјала: Материјал подлоге је монокристални сафир (Al₂O₃), са високом тврдоћом, високом отпорношћу на топлоту и хемијском стабилношћу.
2. Површинска структура: Површина се формира фотолитографијом и нагризањем у периодичне микро-нано структуре, као што су конуси, пирамиде или хексагонални низови.
3. Оптичке перформансе: Кроз дизајн површинског узорка, смањује се укупна рефлексија светлости на граничној површини, а ефикасност екстракције светлости је побољшана.
4. Термичке перформансе: Сафирна подлога има одличну топлотну проводљивост, погодна за примене са ЛЕД диодама велике снаге.
5. Спецификације величине: Уобичајене величине су 2 инча (50,8 мм), 4 инча (100 мм) и 6 инча (150 мм).
Главне области примене
1. Производња ЛЕД диода:
Побољшана ефикасност екстракције светлости: PSS смањује губитак светлости кроз дизајн шара, значајно побољшавајући осветљеност и светлосну ефикасност ЛЕД диода.
Побољшан квалитет епитаксијалног раста: Структурирана структура пружа бољу базу за раст GaN епитаксијалних слојева и побољшава перформансе ЛЕД диода.
2. Ласерска диода (ЛД):
Ласери велике снаге: Висока топлотна проводљивост и стабилност PSS-а погодни су за ласерске диоде велике снаге, побољшавајући перформансе и поузданост дисипације топлоте.
Ниска прагова струје: Оптимизујте епитаксијални раст, смањите праг струје ласерске диоде и побољшајте ефикасност.
3. Фотодетектор:
Висока осетљивост: Висока преносивост светлости и ниска густина дефеката PSS-а побољшавају осетљивост и брзину одзива фотодетектора.
Широк спектрални одзив: погодан за фотоелектричну детекцију у ултраљубичастом до видљивом опсегу.
4. Енергетска електроника:
Отпорност на висок напон: Висока изолација и термичка стабилност сафира погодни су за уређаје високог напона.
Ефикасно одвођење топлоте: Висока топлотна проводљивост побољшава перформансе одвођења топлоте уређаја за напајање и продужава век трајања.
5. РФ уређаји:
Високофреквентне перформансе: Ниски диелектрични губици и висока термичка стабилност PSS-а су погодни за високофреквентне РФ уређаје.
Низак шум: Висока равност и ниска густина дефеката смањују шум уређаја и побољшавају квалитет сигнала.
6. Биосензори:
Детекција високе осетљивости: Висока преносивост светлости и хемијска стабилност PSS-а су погодни за биосензоре високе осетљивости.
Биокомпатибилност: Биокомпатибилност сафира чини га погодним за медицинске и биодетекторске примене.
Узоркована сафирна подлога (PSS) са GaN епитаксијалним материјалом:
Подлога са шарама од сафира (PSS) је идеална подлога за епитаксијални раст GaN (галијум нитрида). Константа решетке сафира је блиска GaN, што може смањити неусклађености решетки и дефекте у епитаксијалном расту. Микро-нано структура PSS површине не само да побољшава ефикасност екстракције светлости, већ и побољшава квалитет кристала GaN епитаксијалног слоја, чиме се побољшавају перформансе и поузданост ЛЕД диоде.
Технички параметри
| Ставка | Подлога од сафира са шаром (2~6 инча) | ||
| Пречник | 50,8 ± 0,1 мм | 100,0 ± 0,2 мм | 150,0 ± 0,3 мм |
| Дебљина | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Оријентација површине | C-раван (0001) ван угла према M-оси (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-раван (0001) ван угла према A-оси (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Примарна оријентација равног стана | А-раван (11-20) ± 1,0° | ||
| Дужина примарне равне површине | 16,0 ± 1,0 мм | 30,0 ± 1,0 мм | 47,5 ± 2,0 мм |
| R-раван | 9 сати | ||
| Завршна обрада предње површине | Шарени | ||
| Завршна обрада задње површине | SSP: Фино брушено, Ra=0,8-1,2um; DSP: Епи-полирано, Ra<0,3nm | ||
| Ласерски обележивач | Задња страна | ||
| ТТВ | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| ЛУК | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| ВАРП | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Искључење ивица | ≤2 мм | ||
| Спецификација шаблона | Структура облика | Купола, конус, пирамида | |
| Висина шаблона | 1,6~1,8μm | ||
| Пречник шаблона | 2,75~2,85μm | ||
| Простор шаблона | 0,1~0,3μm | ||
XKH је специјализован за пружање висококвалитетних, прилагођених сафирних подлога (PSS) са техничком подршком и постпродајним услугама како би помогао купцима да постигну ефикасне иновације у области ЛЕД диода, дисплеја и оптоелектронике.
1. Висококвалитетна PSS набавка: Узорковане сафирне подлоге у различитим величинама (2", 4", 6") како би се задовољиле потребе ЛЕД, дисплеја и оптоелектронских уређаја.
2. Прилагођени дизајн: Прилагодите површинску микро-нано структуру (као што су конус, пирамида или хексагонални низ) према потребама купца како бисте оптимизовали ефикасност екстракције светлости.
3. Техничка подршка: Обезбедите дизајн PSS апликације, оптимизацију процеса и техничке консултације како бисте помогли купцима да побољшају перформансе производа.
4. Подршка за епитаксијални раст: PSS упарен са GaN епитаксијалним материјалом је обезбеђен како би се осигурао висококвалитетни раст епитаксијалног слоја.
5. Тестирање и сертификација: Обезбедити извештај о инспекцији квалитета PSS-а како би се осигурало да производи испуњавају индустријске стандарде.
Детаљан дијаграм
