SiC керамички крајњи ефекторски крак за ношење плочице

Кратак опис:

LiNbO₃ плочице представљају златни стандард у интегрисаној фотоници и прецизној акустици, пружајући ненадмашне перформансе у модерним оптоелектронским системима. Као водећи произвођач, усавршили смо уметност производње ових пројектованих подлога кроз напредне технике еквилибрације транспорта паре, постижући водећу кристалну савршеност у индустрији са густинама дефеката испод 50/цм².

Производни капацитети XKH обухватају пречнике од 75 мм до 150 мм, са прецизном контролом оријентације (X/Y/Z-рез ±0,3°) и специјализованим опцијама допирања, укључујући елементе ретких земаља. Јединствена комбинација својстава LiNbO₃ плочица – укључујући њихов изузетан коефицијент r₃₃ (32±2 pm/V) и широку транспарентност од блиског УВ до средњег инфрацрвеног зрачења – чини их неопходним за фотонска кола следеће генерације и високофреквентне акустичне уређаје.

Пошаљите нам имејл

Карактеристике

SiC керамички крајњи ефектор Апстракт

SiC (силицијум карбид) керамички крајњи ефектор је кључна компонента у високопрецизним системима за руковање плочицама који се користе у производњи полупроводника и напредним микрофабрикацијским окружењима. Пројектован да задовољи захтевне захтеве ултрачистих, високотемпературних и веома стабилних окружења, овај специјализовани крајњи ефектор обезбеђује поуздан и транспорт плочица без контаминације током кључних производних корака као што су литографија, нагризање и депозиција.

Користећи супериорна својства материјала силицијум карбида — као што су висока топлотна проводљивост, екстремна тврдоћа, одлична хемијска инертност и минимално термичко ширење — SiC керамички крајњи ефектор нуди неупоредиву механичку крутост и димензионалну стабилност чак и при брзим термичким циклусима или у корозивним процесним коморама. Његове карактеристике ниског стварања честица и отпорности на плазму чине га посебно погодним за примене у чистим просторијама и вакуумској обради, где су одржавање интегритета површине плочице и смањење контаминације честицама од највеће важности.

Примена SiC керамичког крајњег ефектора

1. Руковање полупроводничким плочицама

SiC керамички крајњи ефектори се широко користе у полупроводничкој индустрији за руковање силицијумским плочицама током аутоматизоване производње. Ови крајњи ефектори се обично монтирају на роботске руке или системе за вакуумски пренос и дизајнирани су да приме плочице различитих величина, као што су 200 mm и 300 mm. Они су неопходни у процесима који укључују хемијско таложење из паре (CVD), физичко таложење из паре (PVD), нагризање и дифузију — где су високе температуре, вакуумски услови и корозивни гасови уобичајени. Изузетна термичка отпорност и хемијска стабилност SiC-а чине га идеалним материјалом да издржи тако тешка окружења без деградације.

2. Компатибилност са чистим просторијама и вакуумом

У чистим просторијама и вакуумским условима, где контаминација честицама мора бити минимизирана, SiC керамика нуди значајне предности. Густа, глатка површина материјала отпорна је на стварање честица, помажући у одржавању интегритета плочице током транспорта. Због тога су SiC крајњи ефектори посебно погодни за критичне процесе као што су екстремна ултраљубичаста литографија (EUV) и атомско слојно таложење (ALD), где је чистоћа кључна. Штавише, ниско испуштање гасова и висока отпорност на плазму код SiC-а обезбеђују поуздане перформансе у вакуумским коморама, продужавајући век трајања алата и смањујући учесталост одржавања.

3. Системи за позиционирање високе прецизности

Прецизност и стабилност су од виталног значаја у напредним системима за руковање плочицама, посебно у опреми за метрологију, инспекцију и поравнање. SiC керамика има изузетно низак коефицијент термичког ширења и високу крутост, што омогућава крајњем ефектору да одржи своју структурну тачност чак и под термичким циклусима или механичким оптерећењем. Ово осигурава да плочице остану прецизно поравнате током транспорта, минимизирајући ризик од микроогреботина, неусклађености или грешака у мерењу – фактора који су све критичнији код чворова процеса испод 5nm.

Особине SiC керамичког крајњег ефектора

1. Висока механичка чврстоћа и тврдоћа

SiC керамика поседује изузетну механичку чврстоћу, са чврстоћом на савијање која често прелази 400 MPa и вредностима тврдоће по Викерсу изнад 2000 HV. То је чини веома отпорном на механичка напрезања, ударце и хабање, чак и након дуже оперативне употребе. Висока крутост SiC-а такође минимизира отклон током преноса плочица великом брзином, обезбеђујући прецизно и поновљиво позиционирање.

2. Одлична термичка стабилност

Једно од највреднијих својстава SiC керамике је њихова способност да издрже изузетно високе температуре — често до 1600°C у инертним атмосферама — без губитка механичког интегритета. Њихов низак коефицијент термичког ширења (~4,0 x 10⁻⁶ /K) обезбеђује димензионалну стабилност при термичком циклусу, што их чини идеалним за примене као што су CVD, PVD и жарење на високим температурама.

Питања и одговори о SiC керамичком крајњем ефектору

П：Који се материјал користи у ефектору за крај вафле?

А：Ефектори за плочице се обично праве од материјала који нуде високу чврстоћу, термичку стабилност и ниско стварање честица. Међу њима, силицијум карбид (SiC) керамика је један од најнапреднијих и најпожељнијих материјала. SiC керамика је изузетно тврда, термички стабилна, хемијски инертна и отпорна на хабање, што је чини идеалном за руковање осетљивим силицијумским плочицама у чистим просторијама и вакуумским окружењима. У поређењу са кварцом или обложеним металима, SiC нуди супериорну димензионалну стабилност на високим температурама и не ослобађа честице, што помаже у спречавању контаминације.