SiC керамичка виљушкаста крак/крајњи ефектор – напредно прецизно руковање за производњу полупроводника

Кратак опис:

Керамичка SiC виљушка, често називана керамичким крајњим ефектором, је високо ефикасна компонента за прецизно руковање, посебно развијена за транспорт, поравнање и позиционирање плочица у високотехнолошким индустријама, посебно у производњи полупроводника и фотонапонских система. Израђена коришћењем високочисте силицијум карбидне керамике, ова компонента комбинује изузетну механичку чврстоћу, ултраниско термичко ширење и врхунску отпорност на термички удар и корозију.

Пошаљите нам имејл

Карактеристике

Детаљан дијаграм

Преглед производа

За разлику од традиционалних крајњих ефектора направљених од алуминијума, нерђајућег челика или чак кварца, SiC керамички крајњи ефектори нуде неупоредиве перформансе у вакуумским коморама, чистим просторијама и тешким условима обраде, што их чини кључним делом робота за руковање плочицама следеће генерације. Са све већом потражњом за производњом без контаминације и строжим толеранцијама у производњи чипова, употреба керамичких крајњих ефектора брзо постаје индустријски стандард.

Принцип производње

ИзрадаSiC керамички крајњи ефекториукључује низ високопрецизних процеса високе чистоће који обезбеђују и перформансе и издржљивост. Обично се користе два главна процеса:

Реакционо везани силицијум карбид (RB-SiC)

У овом процесу, преформа направљена од праха силицијум карбида и везива се инфилтрира растопљеним силицијумом на високим температурама (~1500°C), који реагује са резидуалним угљеником и формира густи, крути SiC-Si композит. Ова метода нуди одличну контролу димензија и исплатива је за производњу великих размера.

Синтеровани силицијум карбид без притиска (SSiC)

SSiC се производи синтеровањем ултрафиног, високочистог SiC праха на изузетно високим температурама (>2000°C) без употребе адитива или везивне фазе. Ово резултира производом са скоро 100% густине и највишим механичким и термичким својствима доступним међу SiC материјалима. Идеалан је за ултракритичне примене руковања плочицама.

Накнадна обрада

Прецизна CNC обрадаПостиже високу равност и паралелизам.
Површинска завршна обрадаДијамантско полирање смањује храпавост површине на <0,02 µм.
ИнспекцијаЗа верификацију сваког комада користе се оптичка интерферометрија, CMM и недеструктивна испитивања.

Ови кораци гарантују да ћеSiC крајњи ефекторпружа конзистентну тачност постављања плочице, одличну равност и минимално стварање честица.

Кључне карактеристике и предности

Карактеристика	Опис
Ултра висока тврдоћа	Тврдоћа по Викерсу > 2500 HV, отпорна на хабање и крзање.
Ниско термичко ширење	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, што омогућава димензионалну стабилност при термичком циклирању.
Хемијска инертност	Отпоран на HF, HCl, плазма гасове и друге корозивне агенсе.
Одлична отпорност на термички удар	Погодно за брзо загревање/хлађење у вакуумским и пећним системима.
Висока чврстоћа и крутост	Подржава дугачке конзолне виљушке без деформације.
Ниско испуштање гасова	Идеално за окружења са ултрависоким вакуумом (UHV).
Спремно за чисте собе ISO класе 1	Рад без честица осигурава интегритет плочице.

Апликације

Керамичка SiC виљушкаста крака/крајњи ефектор се широко користи у индустријама које захтевају изузетну прецизност, чистоћу и хемијску отпорност. Кључни сценарији примене укључују:

Производња полупроводника

Убацивање/истоваривање плочица у системима за депозицију (CVD, PVD), нагризање (RIE, DRIE) и чишћење.
Роботски транспорт плочица између FOUP-ова, касета и процесних алата.
Руковање на високим температурама током термичке обраде или жарења.

Производња фотонапонских ћелија

Деликатан транспорт крхких силицијумских плочица или соларних подлога у аутоматизованим линијама.

Индустрија равних панела (FPD)

Премештање великих стаклених панела или подлога у OLED/LCD производним окружењима.

Сложени полупроводник / MEMS

Користи се у линијама за производњу GaN, SiC и MEMS где су контрола контаминације и тачност позиционирања кључни.

Његова улога крајњег ефектора је посебно важна у обезбеђивању безгрешног, стабилног руковања током осетљивих операција.

Могућности прилагођавања

Нудимо широк спектар прилагођавања како бисмо задовољили различите захтеве опреме и процеса:

Дизајн виљушкеРаспоред са два крака, више прстију или распоред на два нивоа.
Компатибилност величине вафлеОд 2” до 12” плочица.
Монтажни интерфејсиКомпатибилно са OEM роботским рукама.
Толеранције дебљине и површинеДоступна је равност на микронском нивоу и заобљење ивица.
Карактеристике против клизањаОпционе површинске текстуре или премази за сигурно приањање плочице.

Свакикерамички крајњи ефекторје дизајниран заједно са клијентима како би се осигурало прецизно прилагођавање уз минималне промене алата.

Често постављана питања (FAQ)

П1: По чему је SiC бољи од кварца за примену у крајњем ефектору?
А1:Иако се кварц често користи због своје чистоће, недостаје му механичка жилавост и склон је ломљењу под оптерећењем или температурним шоком. SiC нуди врхунску чврстоћу, отпорност на хабање и термичку стабилност, значајно смањујући ризик од застоја и оштећења плочице.

П2: Да ли је ова керамичка виљушка компатибилна са свим роботским руковаоцима плочицама?
А2:Да, наши керамички крајњи ефектори су компатибилни са већином главних система за руковање плочицама и могу се прилагодити вашим специфичним роботским моделима уз прецизне инжењерске цртеже.

П3: Да ли може да обради плочице од 300 мм без савијања?
А3:Апсолутно. Висока крутост SiC-а омогућава чак и танким, дугим виљушкама да сигурно држе плочице од 300 мм без савијања или деформације током кретања.

П4: Колики је типичан век трајања SiC керамичког крајњег ефектора?
А4:Уз правилну употребу, SiC крајњи ефектор може трајати 5 до 10 пута дуже од традиционалних кварцних или алуминијумских модела, захваљујући одличној отпорности на термичка и механичка напрезања.

П5: Да ли нудите замене или услуге брзе израде прототипова?
А5:Да, подржавамо брзу производњу узорака и нудимо услуге замене на основу CAD цртежа или делова добијених реверзним инжењерингом са постојеће опреме.

О нама

XKH је специјализован за високотехнолошки развој, производњу и продају специјалног оптичког стакла и нових кристалних материјала. Наши производи служе оптичкој електроници, потрошачкој електроници и војсци. Нудимо сафирне оптичке компоненте, поклопце за сочива мобилних телефона, керамику, LT, силицијум карбид SIC, кварц и полупроводничке кристалне плочице. Са стручним знањем и најсавременијом опремом, истичемо се у обради нестандардних производа, циљајући да будемо водеће високотехнолошко предузеће у области оптоелектронских материјала.