СиЦ керамичка плоча графитна са ЦВД СиЦ премазом за опрему

Керамика од силицијум карбида се не користи само у фази таложења танког филма, као што је епитаксија или МОЦВД, или у обради плочица, у чијем средишту се носачи плочица за МОЦВД прво подвргавају окружењу таложења и стога су веома отпорне на топлоте и корозије.Носачи обложени СиЦ-ом такође имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

Чисто хемијско таложење паром Силицијум карбид (ЦВД СиЦ) носачи плочица за високотемпературну обраду металних органских хемијских таложења (МОЦВД).

Чисти ЦВД СиЦ носачи плочица су значајно бољи од конвенционалних носача плочица који се користе у овом процесу, а који су графитни и обложени слојем ЦВД СиЦ.ови обложени носачи на бази графита не могу да издрже високе температуре (1100 до 1200 степени Целзијуса) које су потребне за таложење ГаН данашњег плаво-белог леда високог сјаја.Високе температуре узрокују да премаз развије ситне рупице кроз које процесне хемикалије еродирају графит испод.Честице графита се затим љуште и контаминирају ГаН, узрокујући да се обложени носач плочице замени.

ЦВД СиЦ има чистоћу од 99,999% или више и има високу топлотну проводљивост и отпорност на топлотни удар.Због тога може да издржи високе температуре и оштра окружења производње ЛЕД диода високе светлости.То је чврсти монолитни материјал који достиже теоријску густину, производи минималне честице и показује веома високу отпорност на корозију и ерозију.Материјал може да промени непрозирност и проводљивост без уношења металних нечистоћа.Носачи за плочице су обично пречника 17 инча и могу да држе до 40 облатни од 2-4 инча.