СиЦ керамичка плоча графитна са ЦВД СиЦ премазом за опрему

Кратак опис:

Схангхаи Ксинкехуи Нев Материалс Цо., Лтд. производи полупроводничке дискове за гравирање Φ380мм–Φ600мм, дискове са лежајевима за плочице, лежиште од силицијум карбида, СИЦ лежиште, лежиште од силицијум карбида, ИЦП лежиште за гравирање, лежиште за гравирање, век трајања силицијум карбида 9. Чистоћа СИЦ99. је четири пута већи од ЦВД тацна на бази графита, дуготрајна употреба без деформација, Отпорна на ФХ киселину, концентрована Х2Со4 корозија.

Пошаљите нам емаил

Детаљи о производу

Ознаке производа

Керамика од силицијум карбида се не користи само у фази таложења танког филма, као што је епитаксија или МОЦВД, или у обради плочица, у чијем средишту се носачи плочица за МОЦВД прво подвргавају окружењу таложења и стога су веома отпорне на топлоте и корозије.Носачи обложени СиЦ-ом такође имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

Чисто хемијско таложење паром Силицијум карбид (ЦВД СиЦ) носачи плочица за високотемпературну обраду металних органских хемијских таложења (МОЦВД).

Чисти ЦВД СиЦ носачи плочица су значајно бољи од конвенционалних носача плочица који се користе у овом процесу, а који су графитни и обложени слојем ЦВД СиЦ. ови обложени носачи на бази графита не могу да издрже високе температуре (1100 до 1200 степени Целзијуса) које су потребне за таложење ГаН данашњег плаво-белог леда високог сјаја. Високе температуре узрокују да премаз развије ситне рупице кроз које процесне хемикалије еродирају графит испод. Честице графита се затим љуште и контаминирају ГаН, узрокујући да се обложени носач плочице замени.

ЦВД СиЦ има чистоћу од 99,999% или више и има високу топлотну проводљивост и отпорност на топлотни удар. Због тога може да издржи високе температуре и оштра окружења производње ЛЕД диода високе осветљености. То је чврсти монолитни материјал који достиже теоријску густину, производи минималне честице и показује веома високу отпорност на корозију и ерозију. Материјал може да промени непрозирност и проводљивост без уношења металних нечистоћа. Носачи за плочице су обично пречника 17 инча и могу да држе до 40 плочица од 2-4 инча.