Конзолна лопатица од силицијум-карбида (SiC конзолна лопатица)

Силицијум-карбидна конзолна лопатица (SiC конзолна лопатица) истакнута слика

Кратак опис:

Пошаљите нам имејл

Карактеристике

Детаљан дијаграм

Преглед производа

Конзолна лопатица од силицијум-карбида, произведена од високоперформансног реакционо везаног силицијум-карбида (RBSiC), је критична компонента која се користи у системима за утовар и руковање плочицама за полупроводничке и фотонапонске примене.
У поређењу са традиционалним кварцним или графитним лопатицама, конзолне SiC лопатице нуде супериорну механичку чврстоћу, високу тврдоћу, ниско термичко ширење и изванредну отпорност на корозију. Оне одржавају одличну структурну стабилност на високим температурама, испуњавајући строге захтеве великих величина плочица, продуженог века трајања и изузетно ниске контаминације.

Са континуираним развојем полупроводничких процеса ка већим пречницима плочица, већем протоку и чистијим окружењима за обраду, SiC конзолне лопатице су постепено замениле конвенционалне материјале, постајући преферирани избор за дифузионе пећи, LPCVD и сродну опрему за високе температуре.

Карактеристике производа

Одлична стабилност на високим температурама
- Поуздано ради на 1000–1300℃ без деформације.
- Максимална радна температура до 1380℃.
Висока носивост
- Чврстоћа на савијање до 250–280 MPa, много већа од кварцних лопатица.
- Способан за руковање плочицама великог пречника (300 мм и више).
Продужени век трајања и мало одржавања
- Низак коефицијент термичког ширења (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), добро се уклапа са LPCVD материјалима за премаз.
- Смањује пукотине и љуштење изазване напрезањем, значајно продужавајући циклусе чишћења и одржавања.
Отпорност на корозију и чистоћа
- Одлична отпорност на киселине и алкалије.
- Густа микроструктура са отвореном порозношћу <0,1%, минимизирајући стварање честица и ослобађање нечистоћа.
Дизајн компатибилан са аутоматизацијом
- Стабилна геометрија попречног пресека са високом димензионом тачношћу.
- Беспрекорно се интегрише са роботским системима за утовар и истовар плочица, омогућавајући потпуно аутоматизовану производњу.

Физичка и хемијска својства

Ставка	Јединица	Подаци
Максимална радна температура	℃	1380
Густина	г/цм³	3,04 – 3,08
Отворена порозност	%	< 0,1
Чврстоћа на савијање	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Модул еластичности	Просек оцена	330 (20℃), 300 (1200℃)
Топлотна проводљивост	W/m·K	45 (1200℃)
Коефицијент термичког ширења	K⁻¹×10⁻⁶	4,5
Викерсова тврдоћа	ХВ2	≥ 2100
Отпорност на киселине/алкалије	-	Одлично

Стандардне дужине:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Прилагођене димензије доступне на захтев

Апликације

Полупроводничка индустрија
- LPCVD (Хемијско таложење из паре ниског притиска)
- Процеси дифузије (фосфор, бор, итд.)
- Термичка оксидација
Фотонапонска индустрија
- Дифузија и премаз полисилицијумских и монокристалних плочица
- Жарење и пасивација на високим температурама
Остала поља
- Корозивна окружења високих температура
- Прецизни системи за руковање плочицама који захтевају дуг век трајања и ниску контаминацију

Предности за купце

Смањени оперативни трошкови– Дужи век трајања у поређењу са кварцним лопатицама, што минимизира време застоја и учесталост замене.
Већи принос– Изузетно ниска контаминација обезбеђује чистоћу површине плочице и смањује стопу дефеката.
Будућност-осигуран– Компатибилно са великим величинама плочица и полупроводничким процесима следеће генерације.
Побољшана продуктивност– Потпуно компатибилан са роботским системима аутоматизације, подржавајући производњу великих количина.

Најчешћа питања – Конзолна лопатица од силицијум-карбида

П1: Шта је конзолна лопатица од силицијум-карбида?
A: То је компонента за носач и руковање плочицом направљена од реакционо везаног силицијум карбида (RBSiC). Широко се користи у дифузионим пећима, LPCVD и другим високотемпературним полупроводничким и фотонапонским процесима.

П2: Зашто изабрати SiC уместо кварцних лопатица?
A: У поређењу са кварцним лопатицама, SiC лопатице нуде:

Већа механичка чврстоћа и носивост
Боља термичка стабилност на температурама до 1380℃
Много дужи век трајања и смањени циклуси одржавања
Мањи ризик од стварања честица и контаминације
Компатибилност са већим величинама плочица (300 мм и више)

П3: Које величине плочица може да подржи SiC конзолна лопатица?
A: Стандардне лопатице су доступне за системе пећи од 2378 mm, 2550 mm и 2660 mm. Доступне су прилагођене димензије за подршку плочица до 300 mm и више.

О нама

XKH је специјализован за високотехнолошки развој, производњу и продају специјалног оптичког стакла и нових кристалних материјала. Наши производи служе оптичкој електроници, потрошачкој електроници и војсци. Нудимо сафирне оптичке компоненте, поклопце за сочива мобилних телефона, керамику, LT, силицијум карбид SIC, кварц и полупроводничке кристалне плочице. Са стручним знањем и најсавременијом опремом, истичемо се у обради нестандардних производа, циљајући да будемо водеће високотехнолошко предузеће у области оптоелектронских материјала.