Силицијум-карбидна керамичка посуда за сисање, снабдевање силицијум-карбидном керамичком цеви, синтеровање на високим температурама, обрада по мери
Главне карактеристике:
1. Керамичка посуда од силицијум-карбида
- Висока тврдоћа и отпорност на хабање: тврдоћа је блиска дијаманту и може дуго да издржи механичко хабање приликом обраде плочица.
- Висока топлотна проводљивост и низак коефицијент термичког ширења: брзо одвођење топлоте и димензионална стабилност, избегавајући деформације изазване термичким напрезањем.
- Висока равност и површинска завршна обрада: Равност површине је до микронског нивоа, што обезбеђује потпуни контакт између плочице и диска, смањујући контаминацију и оштећења.
Хемијска стабилност: Јака отпорност на корозију, погодна за мокро чишћење и процесе нагризања у производњи полупроводника.
2. Керамичка цев од силицијум-карбида
- Отпорност на високе температуре: Може радити у окружењу са високим температурама изнад 1600°C дуже време, погодно за полупроводничке процесе на високим температурама.
Одлична отпорност на корозију: отпорна на киселине, алкалије и разне хемијске раствараче, погодна за тешка процесна окружења.
- Висока тврдоћа и отпорност на хабање: отпорност на ерозију честица и механичко хабање, продужава век трајања.
- Висока топлотна проводљивост и низак коефицијент термичког ширења: брзо провођење топлоте и димензионална стабилност, смањујући деформације или пуцање изазване термичким напрезањем.
Параметар производа：
Параметар керамичке посуде од силицијум-карбида:
| (Материјална својина) | (Јединица) | (сиц) | |
| (садржај SiC) | (Теж.)% | >99 | |
| (Просечна величина зрна) | микрон | 4-10 | |
| (Густина) | кг/дм3 | >3,14 | |
| (Привидна порозност) | Vo1% | <0,5 | |
| (Викерсова тврдоћа) | ВН 0,5 | Просек оцена | 28 |
| *() Чврстоћа на савијање* (три поена) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Чврстоћа на притисак) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Модул еластичности) | 20ºC | Просек оцена | 420 |
| (Отпорност на лом) | MPa/m⁻⁹% | 3,5 | |
| (Топлотна проводљивост) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Отпорност) | 20°C | Ом·цм | 106-108 |
(Коефицијент термичког ширења) | a(RT**...80ºC) | К-1*10-6 | 4.3 |
(Максимална радна температура) | °C | 1700. godine | |
Параметар керамичке цеви од силицијум-карбида:
| Ставке | Индекс |
| α-SIC | 99% мин. |
| Привидна порозност | 16% максимум |
| Густина запремине | 2,7 г/цм3 мин |
| Чврстоћа на савијање на високој температури | 100 МПа мин. |
| Коефицијент термичког ширења | К-1 4,7x10 -6 |
| Коефицијент топлотне проводљивости (1400ºC) | 24 W/mk |
| Максимална радна температура | 1650ºC |
Главне примене:
1. Керамичка плоча од силицијум-карбида
- Сечење и полирање плочица: служи као платформа за ношење како би се осигурала висока прецизност и стабилност током сечења и полирања.
- Процес литографије: Плочица је фиксирана у литографској машини како би се осигурало високо прецизно позиционирање током експозиције.
- Хемијско-механичко полирање (ХМП): делује као платформа за подршку полирајућем јастучићу, обезбеђујући равномерни притисак и расподелу топлоте.
2. Керамичка цев од силицијум-карбида
- Цев за пећ на високим температурама: користи се за опрему на високим температурама као што су дифузиона пећ и оксидациона пећ за ношење плочица за обраду на високим температурама.
- CVD/PVD процес: Као носећа цев у реакционој комори, отпорна на високе температуре и корозивне гасове.
- Додатна опрема за полупроводничку опрему: за измењиваче топлоте, гасоводе итд., ради побољшања ефикасности управљања топлотом опреме.
XKH нуди комплетан асортиман услуга по мери за керамичке посуде, вакуумске чаше и цеви од силицијум-карбида. Керамичке посуде и вакуумске чаше од силицијум-карбида, XKH, могу се прилагодити захтевима купаца различитих величина, облика и храпавости површине, и подржавају посебан третман премаза, побољшавају отпорност на хабање и отпорност на корозију; За керамичке цеви од силицијум-карбида, XKH може прилагодити различите унутрашње пречнике, спољашње пречнике, дужине и сложене структуре (као што су обликоване цеви или порозне цеви), и обезбедити полирање, антиоксидативни премаз и друге процесе обраде површине. XKH осигурава да купци могу у потпуности искористити предности перформанси керамичких производа од силицијум-карбида како би задовољили захтевне захтеве врхунских производних области као што су полупроводници, ЛЕД диоде и фотонапонски системи.
Детаљан дијаграм
