Силицијум карбида керамичка лежишта за керамику Силицијум Царбиде керамичка цев СИГУРНОСТ СИГУРНОСТИ СИНТЕРИНГ СИНТЕРИНГ СИНТЕРИНГ Обрада
Главне карактеристике:
1. Лежиште за силицијум карбида
- Висока тврдоћа и отпорност на хабање: Тврдоћа је близу дијаманта и може дуго да издржи механичко одељење у преради ВЕЗЕР.
- Висока топлотна проводљивост и ниска коефицијент топлотне експанзије: брзу расипање топлоте и стабилност топлоте, избегавање деформације изазване термичком стресом.
- Висока равност и површинска завршна обрада: Површинска равност је на нивоу микрона, осигуравајући пуни контакт између резине и диска, смањујући контаминацију и оштећења.
Хемијска стабилност: Снажна отпорност на корозију, погодна за влажно чишћење и процесе јеткања у производњи полуводича.
2. Керамичка цев силицијум карбида
- Отпорност на високу температуру: Може радити на окружењу високих температура изнад 1600 ° Ц током дуже време, погодно за поступку високе температуре полуводича.
Одлична отпорност на корозију: Отпорна на киселине, алкалије и разне хемијске раствараче, погодне за оштре процесне окружења.
- Висока тврдоћа и отпорност на хабање: Опо одупријети ерозији честица и механичко хабање, продужити радни век.
- Висока топлотна проводљивост и низак коефицијент топлотне експанзије: Брзо проводљивост топлотне и димензионалне стабилности, смањујући деформацију или пуцање узроковане топлотним стресом.
Параметар производа:
Параметар керамичке лежиште Силицијум карбида:
(Материјална имовина) | (Јединица) | (ССИЦ) | |
(СИЦ садржај) | (Вт)% | > 99 | |
(Просечно величина зрна) | микрон | 4-10 | |
(Густина) | КГ / ДМ3 | > 3.14 | |
(Привидна порозност) | ВО1% | <0,5 | |
(Вицкерс Тврдоћа) | ХВ 0.5 | ГПА | 28 |
* () Снага савијања * (три бода) | 20ºЦ | МПА | 450 |
(Снага притиска) | 20ºЦ | МПА | 3900 |
(Еластични модул) | 20ºЦ | ГПА | 420 |
(Жилавост прелома) | МПА / М '% | 3.5 | |
(Топлотна проводљивост) | 20 ° ºЦ | В / (м * к) | 160 |
(Отпорност) | 20 ° ºЦ | Охм.цм | 106-108 |
(Коефицијент топлотне експанзије) | А (РТ ** ... 80ºЦ) | К-1 * 10-6 | 4.3 |
(Максимална радна температура) | оºц | 1700 |
Параметар керамичке цеви силицијум карбида:
Предмети | Индекс |
α-сиц | 99% мин |
Привидна порозност | 16% мак |
Густина | 2.7Г / цм3 мин |
Снага савијања на високој температури | 100 МПА мин |
Коефицијент топлотне експанзије | К-1 4.7к10 -6 |
Коефицијент топлотне проводљивости (1400 ° Ц) | 24 в / мк |
Макс. Радна температура | 1650ºЦ |
Главне апликације:
1. Силицијум карбида керамичка плоча
- Резање и полирање резања: служи као лежајна платформа како би се осигурала висока прецизност и стабилност током сечења и полирања.
- Процес литографије: Ваффе је фиксиран у литографији литографске машине како би се осигурала висока прецизна позиционирања током изложености.
- Хемијски механички полирање (ЦМП): делује као платформа за подршку за полирање јастучића, пружајући уједначен притисак и дистрибуцију топлоте.
2. Керамичка цев силицијум карбида
- Цијеве високе температуре Терева: користи се за високу температуру опрему као што су пећ за дифузију и особидациону пећ за преношење вафла за третман високе температуре.
- ЦВД / ПВД процес: Као носиоца у комори за реакцију, отпорна на високе температуре и корозивне гасове.
- Прибор за полуводичке опреме: за измењиваче топлоте, гасоводоначе итд., Да би се побољшала ефикасност топлотног управљања.
КСКХ нуди цео спектар прилагођених услуга за керамичке лежишта силицијума, усисне чаше и силицијум карбидне керамичке цеви. Керамичке лежишта за силицијумске карбидне и усисне чаше, КСКХ се могу прилагодити захтевима купаца различитих величина, облика и храпавости површине и подржавају посебан третман премаза, побољшати отпорност на хабање и отпорност на хабање и отпорност на хабање; За керамичке цеви силиконске карбидне, КСКХ може да прилагоди разне унутрашње пречнике, спољни пречник, дужину и сложену структуру (као што је у облику цеви или порозне цеви) и пружају полирање, анти-оксидационе превлаке и друге процесе лечења површинским пречишћавањем. КСКХ осигурава да купци могу да у потпуности искористе предности перформанси Силицијум карбида керамичких производа како би задовољиле захтевне захтеве за производним производним областима као што су полуводичи, ЛЕД и фотонаволтаци.
Детаљан дијаграм



