Машина за сечење дијамантске жице од силицијум карбида 4/6/8/12 инча за обраду СиЦ ингота

Кратак опис:

Машина за сечење дијамантске жице од силицијум карбида је врста опреме за обраду високе прецизности посвећене резу ингота силицијум карбида (СиЦ), користећи технологију дијамантске тестере, кроз дијамантску жицу која се креће великом брзином (пречник линије 0,1 ~ 0,3 мм) до вишеструког сечења СиЦ ингота, како би се постигла висока прецизност, припрема резне плочице са ниским степеном оштећења. Опрема се широко користи у СиЦ енергетским полупроводницима (МОСФЕТ/СБД), радиофреквентним уређајима (ГаН-он-СиЦ) и обради супстрата оптоелектронских уређаја, кључна је опрема у ланцу индустрије СиЦ.

Пошаљите нам емаил

Детаљи о производу

Ознаке производа

Принцип рада:

1. Фиксирање ингота: СиЦ ингот (4Х/6Х-СиЦ) је фиксиран на платформи за сечење кроз учвршћење како би се осигурала тачност положаја (±0,02 мм).

2. Кретање дијамантске линије: дијамантска линија (галванизоване дијамантске честице на површини) покреће систем водећих точкова за циркулацију велике брзине (брзина линије 10~30м/с).

3. Помицање сечења: ингот се доводи у задатом правцу, а дијамантска линија се сече истовремено са више паралелних линија (100~500 линија) да би се формирало више плочица.

4. Хлађење и уклањање струготине: Распршите расхладну течност (дејонизована вода + адитиви) у области сечења да бисте смањили оштећење топлоте и уклонили струготине.

Кључни параметри:

1. Брзина сечења: 0,2 ~ 1,0 мм/мин (у зависности од смера кристала и дебљине СиЦ).

2. Напетост линије: 20~50Н (превисока линија која се лако може прекинути, прениска утиче на тачност сечења).

3. Дебљина плочице: стандардна 350 ~ 500 μм, вафла може досећи 100 μм.

Главне карактеристике:

(1) Тачност сечења
Толеранција дебљине: ±5μм (@350μм вафер), боље од конвенционалног сечења малтером (±20μм).

Храпавост површине: Ра<0,5μм (није потребно додатно брушење да би се смањила количина накнадне обраде).

Искривљење: <10μм (смањите потешкоће накнадног полирања).

(2) Ефикасност обраде
Вишелинијско сечење: сечење 100~500 комада истовремено, повећавајући производни капацитет 3~5 пута (у односу на сечење са једном линијом).

Век трајања линије: Дијамантска линија може да сече 100~300км СиЦ (у зависности од тврдоће ингота и оптимизације процеса).

(3) Ниска обрада оштећења
Ломљење ивица: <15μм (традиционално сечење >50μм), побољшајте принос плочице.

Подповршински оштећени слој: <5μм (смањење уклањања полирања).

(4) Заштита животне средине и привреда
Без контаминације малтером: Смањени трошкови одлагања отпадне течности у поређењу са резањем малтера.

Коришћење материјала: Губитак сечења <100μм/ секач, штедећи СиЦ сировине.

Ефекат резања:

1. Квалитет плочице: нема макроскопских пукотина на површини, неколико микроскопских дефеката (контролисано проширење дислокације). Може директно ући у везу за грубо полирање, скратити ток процеса.

2. Конзистенција: одступање дебљине вафла у серији је <±3%, погодно за аутоматизовану производњу.

3.Применљивост: Подржава сечење ингота 4Х/6Х-СиЦ, компатибилно са проводљивим/полуизолованим типом.

Техничка спецификација:

Спецификација	Детаљи
Димензије (Д × Ш × В)	2500к2300к2500 или прилагодите
Распон величина материјала за обраду	4, 6, 8, 10, 12 инча силицијум карбида
Храпавост површине	Ра≤0.3у
Просечна брзина сечења	0,3 мм/мин
Тежина	5.5т
Кораци подешавања процеса сечења	≤30 корака
Бука опреме	≤80 дБ
Затезање челичне жице	0~110Н (0,25 напетост жице је 45Н)
Брзина челичне жице	0~30м/С
Укупна снага	50кв
Пречник дијамантске жице	≥0,18 мм
Крај равности	≤0.05мм
Стопа резања и ломљења	≤1% (осим из људских разлога, силицијумског материјала, линије, одржавања и других разлога)

КСКХ услуге:

КСКХ пружа комплетну процесну услугу машине за сечење дијамантских жица од силицијум карбида, укључујући избор опреме (пречник жице/брзина жице), развој процеса (оптимизација параметара сечења), снабдевање потрошним материјалом (дијамантска жица, водећи точак) и подршку након продаје (одржавање опреме, анализа квалитета сечења), како би помогли купцима да постигну висок принос (>95%), ниску цену производње СиЦ. Такође нуди прилагођене надоградње (као што је ултра-танко сечење, аутоматско утовар и истовар) са временом испоруке од 4-8 недеља.