Машина за сечење дијамантском жицом од силицијум-карбида, обрада SiC ингота 4/6/8/12 инча

Кратак опис:

Машина за сечење силицијум карбидне дијамантске жице је врста високопрецизне опреме за обраду намењене за сечење ингота силицијум карбида (SiC), користећи технологију дијамантске жице, преко брзог кретања дијамантске жице (пречник линије 0,1~0,3 мм) до вишежичног сечења SiC ингота, како би се постигла високопрецизна припрема плочица са малим оштећењем. Опрема се широко користи у обради подлога SiC енергетских полупроводника (MOSFET/SBD), радиофреквентних уређаја (GaN-on-SiC) и оптоелектронских уређаја, и кључна је опрема у ланцу SiC индустрије.

Пошаљите нам имејл

Карактеристике

Принцип рада：

1. Фиксирање ингота: SiC ингот (4H/6H-SiC) је фиксиран на платформи за сечење помоћу причвршћивача како би се осигурала тачност положаја (±0,02 мм).

2. Кретање дијамантске линије: дијамантска линија (електроплатисане дијамантске честице на површини) покреће се системом вођица за циркулацију великом брзином (брзина линије 10~30м/с).

3. Унос сечења: ингот се доводи дуж задатог правца, а дијамантска линија се сече истовремено са више паралелних линија (100~500 линија) да би се формирало више плочица.

4. Хлађење и уклањање струготине: Прскајте расхладну течност (дејонизовану воду + адитиве) у подручју сечења како бисте смањили оштећења од топлоте и уклонили струготину.

Кључни параметри:

1. Брзина сечења: 0,2~1,0 мм/мин (у зависности од правца кристала и дебљине SiC).

2. Затегнутост линије: 20~50N (превисока је и лако ломи линију, прениска утиче на тачност сечења).

3. Дебљина плочице: стандардна 350~500μм, плочица може достићи 100μм.

Главне карактеристике:

(1) Тачност сечења
Толеранција дебљине: ±5μm (@350μm плочица), боља од конвенционалног сечења малтером (±20μm).

Храпавост површине: Ra <0,5μm (није потребно додатно брушење ради смањења количине накнадне обраде).

Искривљеност: <10μm (смањује тешкоће накнадног полирања).

(2) Ефикасност обраде
Вишелинијско сечење: сечење 100~500 комада истовремено, повећавајући производни капацитет 3~5 пута (у поређењу са једнолинијским сечењем).

Век трајања линије: Дијамантска линија може да сече 100~300 км SiC (у зависности од тврдоће ингота и оптимизације процеса).

(3) Обрада са малом штетом
Лом ивице: <15μm (традиционално сечење >50μm), побољшава принос плочице.

Подповршински оштећени слој: <5μm (смањено уклањање полирањем).

(4) Заштита животне средине и економија
Без контаминације малтера: Смањени трошкови одлагања отпадне течности у поређењу са сечењем малтера.

Искоришћење материјала: Губитак резања <100μм/резач, уштеда SiC сировина.

Ефекат сечења:

1. Квалитет плочице: нема макроскопских пукотина на површини, мало микроскопских дефеката (контролисано продужење дислокације). Може директно ући у везу за грубо полирање, скраћујући ток процеса.

2. Конзистентност: одступање дебљине плочице у серији је <±3%, погодно за аутоматизовану производњу.

3. Применљивост: Подржава сечење ингота 4H/6H-SiC, компатибилно са проводљивим/полуизолованим типом.

Техничка спецификација：

Спецификација	Детаљи
Димензије (Д × Ш × В)	2500x2300x2500 или прилагодите
Распон величина материјала за обраду	4, 6, 8, 10, 12 инча силицијум карбида
Храпавост површине	Ra≤0,3u
Просечна брзина сечења	0,3 мм/мин
Тежина	5,5 т
Кораци подешавања процеса сечења	≤30 корака
Бука опреме	≤80 dB
Затезање челичне жице	0~110N (затегнутост жице од 0,25 је 45N)
Брзина челичне жице	0~30 м/с
Укупна снага	50 kW
Пречник дијамантске жице	≥0,18 мм
Крајња равност	≤0,05 мм
Брзина сечења и ломљења	≤1% (осим људских разлога, силицијумског материјала, линије, одржавања и других разлога)

XKH услуге:

XKH пружа целокупну услугу машине за сечење силицијум-карбидном дијамантском жицом, укључујући избор опреме (усклађивање пречника/брзине жице), развој процеса (оптимизација параметара сечења), снабдевање потрошним материјалом (дијамантска жица, вођица) и постпродајну подршку (одржавање опреме, анализа квалитета сечења), како би помогао купцима да постигну висок принос (>95%), јефтину масовну производњу SiC плочица. Такође нуди прилагођене надоградње (као што је ултратанко сечење, аутоматизовано утоваривање и истовар) са роком испоруке од 4-8 недеља.