Ултрапрецизна SiC платформа са ваздушним лежајевима

Кратак опис:

Са континуираним развојем полупроводничке индустрије, опрема за обраду и инспекцију захтева све веће перформансе. На основу опсежног стручног знања у контроли кретања и позиционирању на нанометарском нивоу, развили смо планарну двоосну ултрапрецизну постоље са ваздушним лежајевима типа H.

Пошаљите нам имејл

Карактеристике

Детаљан дијаграм

Преглед

Пројектована са силицијум-карбидном (SiC) керамичком структуром оптимизованом методом коначних елемената и технологијом компензованог ваздушног лежаја, платформа пружа изузетну тачност, чврстину и динамички одзив. Идеална је за:

Обрада и инспекција полупроводника
Микро/нано израда и метрологија
Нанометарско сечење и полирање на лету
Брзо прецизно скенирање

Кључне карактеристике

SiC вођица са ваздушним лежајевимаза ултра високу крутост и прецизност
Висока динамикабрзина до 1 m/s, убрзање до 4 g, брзо слегање
Y-оса портала са двоструким погономобезбеђује високу носивост и стабилност
Опције енкодераоптичка решетка или ласерски интерферометар
Тачност позиционирања±0,15 μм;поновљивост±75 нм
Оптимизовано усмеравање кабловаза чист дизајн и дугорочну поузданост
Прилагодљиве конфигурацијеза потребе специфичне за апликацију

Ултра-прецизан дизајн и директан погон, бесконтактна архитектура

SiC керамички оквир: ~5× већа крутост од легуре алуминијума и ~5× мање термичко ширење, што обезбеђује стабилност при великим брзинама и термичку робусност.
Компензовани ваздушни лежајПатентирани дизајн повећава крутост, носивост и стабилност кретања.
Динамичке перформансеПодржава брзину од 1 м/с и убрзање од 4 г, идеално за процесе високог протока.
Беспрекорна интеграцијаКомпатибилно са системима за изолацију вибрација, ротационим платформама, модулима за нагиб и платформама за руковање плочицама.
Управљање кабловимаКонтролисани радијус савијања минимизира напрезање за продужени век трајања.

Линеарни мотор без језгра: Глатко кретање без силе зупчања.
Вишемоторни погонПостављање мотора у равни оптерећења побољшава праволинију, равност и угаону прецизност.
Термичка изолацијаМотори су изоловани од конструкције бине; опционо ваздушно или водено хлађење за циклусе високог оптерећења.

Спецификације

Модел	400-400	500-500	600-600
Секире	X (скенирање) / Y (корак)	X (скенирање) / Y (корак)	X (скенирање) / Y (корак)
Ход (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Тачност (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Поновљивост (нм)	±75	±100	±100
Резолуција (нм)	0,3	0,3	0,3
Максимална брзина (м/с)	1	1	1
Убрзање (g)	4	4	4
Правост (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Стабилност (нм)	±5	±5	±5
Максимално оптерећење (кг)	20	20	20
Нагиб/Кљун/Скретање (лучна секунда)	±1	±1	±1

Услови тестирања:

Довод ваздуха: чист, сув; тачка росе ≤ 0°F; филтрација честица ≤ 0,25 μm; или 99,99% азота.
Тачност мерена 25 mm изнад центра постоља на 20±1 °C, 40–60% релативне влажности.

Апликације

Полупроводничка литографија, инспекција и руковање плочицама
Микро/нано израда и прецизна метрологија
Производња врхунске оптике и интерферометрија
Аерокосмичка и напредна научна истраживања

Најчешћа питања – Силицијум-карбидна платформа за ваздушне лежајеве

1. Шта је ваздушно-носећа фаза?

Постоље са ваздушним лежајевима користи танак филм притисканог ваздуха између постоља и вођице да би се обезбедилобез трења, без хабања и ултра глатко кретањеЗа разлику од конвенционалних механичких лежајева, елиминише клизање уз помоћ залепљивања, пружа тачност на нанометарском нивоу и подржава дугорочну поузданост.

2. Зашто користити силицијум карбид (SiC) за структуру сцене?

Висока крутост: ~5× веће од легуре алуминијума, минимизирајући деформацију током динамичког кретања.
Ниско термичко ширење~5× ниже од алуминијума, одржавајући тачност при температурним варијацијама.
ЛаганаМања густина у поређењу са челиком, што омогућава рад великом брзином и великим убрзањем.
Одлична стабилностВрхунско пригушење и крутост за ултрапрецизно позиционирање.

3. Да ли је позорници потребно подмазивање или одржавање?

Није потребно традиционално подмазивање јер постојибез механичког контактаПрепоручено одржавање обухвата:

Снабдевањечист, сув компримовани ваздух или азот
Периодична инспекција филтера и сушача
Надгледање каблова и система за хлађење

4. Који су захтеви за довод ваздуха?

Тачка росе: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Филтрација честица: ≤ 0,25 μm
Чист, сув ваздух или 99,99% чисти азот
Стабилан притисак са минималним флуктуацијама

О нама

XKH је специјализован за високотехнолошки развој, производњу и продају специјалног оптичког стакла и нових кристалних материјала. Наши производи служе оптичкој електроници, потрошачкој електроници и војсци. Нудимо сафирне оптичке компоненте, поклопце за сочива мобилних телефона, керамику, LT, силицијум карбид SIC, кварц и полупроводничке кристалне плочице. Са стручним знањем и најсавременијом опремом, истичемо се у обради нестандардних производа, циљајући да будемо водеће високотехнолошко предузеће у области оптоелектронских материјала.