SiC плочице од 4 инча, 6H полуизолационе SiC подлоге, првокласне, истраживачке и пробне

4-инчне SiC плочице 6H полуизолационе SiC подлоге, основне, истраживачке и пробне квалитете. Истакнута слика

Кратак опис:

Полуизолована силицијум карбидна подлога се формира сечењем, брушењем, полирањем, чишћењем и другом технологијом обраде након раста полуизолованог силицијум карбидног кристала. На подлози се узгаја слој или вишеслојни кристални слој који испуњава захтеве квалитета као епитаксија, а затим се комбиновањем дизајна кола и паковања прави микроталасни РФ уређај. Доступна је као индустријска, истраживачка и тестна полуизолована силицијум карбидна монокристална подлога величине 2 инча, 3 инча, 4 инча, 6 инча и 8 инча.

Пошаљите нам имејл

Карактеристике

Спецификација производа

Оцена			Производни степен нултог MPD-а (Z степен)			Стандардни производни разред (P разред)		Оцена лутке (оцена Д)
Пречник			99,5 мм~100,0 мм
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Оријентација плочице			Ван осе: 4,0° према <1120 > ±0,5° за 4H-N, На оси: <0001>±0,5° за 4H-SI
	4H-SI		≤1 цм^-2			≤5 цм^-2		≤15 цм^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Примарна оријентација равног стана		{10-10} ±5,0°
Дужина примарне равне површине		32,5 мм±2,0 мм
Секундарна дужина равне површине		18,0 мм±2,0 мм
Секундарна равна оријентација		Силиконска страна нагоре: 90° угао часовника од равне површине ±5,0°
Искључење ивица		3 мм
LTV/TTV/Bow /Warp		≤3 μм/≤5 μм/≤15 μм/≤30 μм						≤10 μм/≤15 μм/≤25 μм/≤40 μм
Храбост			Ц лице				Пољски		Ra≤1 nm
			Си лице	ЦМП	Ra≤0,2 нм					Ra≤0,5 нм
Пукотине на ивицама изазване светлошћу високог интензитета		Ниједан						Кумулативна дужина ≤ 10 mm, појединачно дужина ≤ 2 mm
Шестоугаоне плоче са светлошћу високог интензитета		Кумулативна површина ≤0,05%						Кумулативна површина ≤0,1%
Политипске области под високим интензитетом светлости		Ниједан						Кумулативна површина ≤ 3%
Визуелне инклузије угљеника		Кумулативна површина ≤0,05%						Кумулативна површина ≤3%
Огреботине на силицијумској површини изложене светлости високог интензитета		Ниједан						Кумулативна дужина ≤ 1＊пречник плочице
Ивице чипова високог интензитета светлости		Није дозвољено ≥0,2 мм ширине и дубине						5 дозвољено, ≤1 mm сваки
Контаминација површине силицијума високим интензитетом		Ниједан
Паковање		Касета са више плочица или контејнер са једном плочицом