LNOI плочица од 4 инча и 6 инча од литијум-ниобатног монокристалног филма
Процес припреме LNOI материјала је углавном подељен на следећа четири корака
(1) He јони су убризгани у X-сечени литијум ниобат материјал при одређеној енергији и уведени у дефектни слој на одређеној дубини испод површинског слоја литијум ниобата;
(2) Јонски имплантирани литијум-ниобатни материјал је везан за силицијумску подлогу оксидним слојем да би се формирала веза;
(3) Везујућа структура је жарена како би се дефекти настали имплантацијом He јона развили и агрегирали, формирајући пукотине. Коначно, литијум ниобат је одвојен дуж слоја дефекта да би се формирале резидуалне кришке литијум ниобата и LNOI плочице.
Примене и предности LNOI плочице
1--Пиезоелектрични филмови литијум-ниобата (LNOI) имају висок пиезоелектрични коефицијент и диелектричну константу, што им омогућава да претворе механичку енергију у електричну енергију или електричну енергију у механичку енергију. Због тога се широко користе у области сензора, као што су сензори притиска, сензори убрзања, сензори температуре итд. Поред тога, пиезоелектрични филм литијум-ниобата може се користити и у акустичним уређајима и вибрационим уређајима, као што су пиезоелектрични керамички претварачи и сложени пиезоелектрични керамички филтери.
2-Стабилност пиезоелектричног филма литијум-ниобата је такође једна од његових предности. Због стабилности кристалне структуре и хемијске инертности, пиезоелектрични филм литијум-ниобата може да ради на високим температурама, високој влажности, јаким киселинама, јаким алкалијама и другим тешким условима, уз добру отпорност на корозију и издржљивост.
3-Литијум ниобат пиезоелектрични филм је нови пиезоелектрични материјал са одличним перформансама и стабилношћу, и има широку примену. Са континуираним развојем науке и технологије, литијум ниобат пиезоелектрични филм ће се примењивати у све више градова, доносећи више погодности и иновација у животе људи.
Детаљан дијаграм


