8 инча 200 мм Силицијум карбид СиЦ плочице 4Х-Н тип Производни разред дебљине 500 ум

8 инча 200 мм Силицијум карбид СиЦ плочице 4Х-Н тип Производни квалитет 500 ум дебљина Истакнута слика

Кратак опис:

Схангхаи Ксинкехуи Тецх.Цо., Лтд нуди најбољи избор и цене за висококвалитетне плочице и подлоге од силицијум карбида до пречника 8 инча са Н- и полуизолационим типовима.Мале и велике компаније за производњу полупроводничких уређаја и истраживачке лабораторије широм света користе и ослањају се на наше плочице од силиконског карбида.

Пошаљите нам емаил

Детаљи о производу

Ознаке производа

Спецификација СиЦ подлоге од 200 мм 8 инча

Величина: 8 инча;

Пречник: 200мм±0.2;

Дебљина: 500ум±25;

Оријентација површине: 4 према [11-20]±0,5°;

Оријентација зареза: [1-100]±1°；

Дубина зареза: 1±0,25 мм;

Мицропипе: <1цм2;

Хек плоче: није дозвољено;

Отпорност: 0,015~0,028Ω;

ЕПД:<8000цм2;

ТЕД:<6000цм2

БПД:<2000цм2

ТСД:<1000цм2

СФ: површина<1%

ТТВ≤15ум；

Варп≤40ум；

Лук≤25ум;

Поли области: ≤5%;

Огреботина: <5 и кумулативна дужина< 1 пречник плочице;

Чипови/удубљења: ниједна не дозвољава Д>0,5 мм ширине и дубине;

Пукотине: Нема;

Мрља: нема

Ивица плочице: Цхамфер;

Завршна обрада: Доубле Сиде Полисх, Си Фаце ЦМП;

Паковање: касета са више плоча или један контејнер за вафле;

Тренутне потешкоће у припреми 200мм 4Х-СиЦ кристала ул

1) Припрема висококвалитетних 200мм 4Х-СиЦ кристала семена;

2) Неуједначеност температурног поља велике величине и контрола процеса нуклеације;

3) Ефикасност транспорта и еволуција гасовитих компоненти у системима раста великих кристала;

4) Пуцање кристала и пролиферација дефекта узрокована повећањем топлотног напрезања велике величине.

Да би се превазишли ови изазови и добили висококвалитетни 200мм СиЦ вафли предложена су решења:

У погледу припреме кристала семена од 200 мм, проучено је одговарајуће температурно поље струјања и склоп који се шири и дизајниран да узме у обзир квалитет кристала и величину експандирања;Почевши од 150 мм СиЦ се:д кристала, извршите итерацију семена кристала да бисте постепено проширили кристалну СиЦ док не достигне 200 мм;Кроз вишеструки раст и обраду кристала, постепено оптимизујте квалитет кристала у области ширења кристала и побољшајте квалитет кристала за семе од 200 мм.

У погледу 200 мм проводљивог кристала и припреме супстрата, истраживање је оптимизовало дизајн температурног поља и поља протока за раст кристала великих димензија, спровео раст 200 мм проводног СиЦ кристала и контролисао униформност допинга.Након грубе обраде и обликовања кристала, добијен је 8-инхелектрикално проводљив 4Х-СиЦ ингот стандардног пречника.Након сечења, брушења, полирања, обраде да би се добиле СиЦ 200мм плочице са дебљином од 525ум или тако