Машина за полирање јонским снопом за сафир SiC Si
Детаљан дијаграм


Преглед производа машине за полирање јонским снопом

Машина за обликовање и полирање јонским снопом заснива се на принципу јонског распршивања. Унутар коморе високог вакуума, извор јона генерише плазму, која се убрзава у јонски сноп високе енергије. Овај сноп бомбардује површину оптичке компоненте, уклањајући материјал на атомској скали како би се постигла ултрапрецизна корекција и завршна обрада површине.
Као бесконтактни процес, полирање јонским снопом елиминише механичко напрезање и избегава оштећења под површином, што га чини идеалним за производњу високопрецизне оптике која се користи у астрономији, ваздухопловству, полупроводницима и напредним истраживачким применама.
Принцип рада машине за полирање јонским снопом
Генерација јона
Инертни гас (нпр. аргон) се уводи у вакуумску комору и јонизује путем електричног пражњења да би се формирала плазма.
Убрзање и формирање снопа
Јони се убрзавају до неколико стотина или хиљада електрон-волти (eV) и обликују у стабилну, фокусирану тачку снопа.
Уклањање материјала
Јонски сноп физички распршује атоме са површине без покретања хемијских реакција.
Детекција грешака и планирање путање
Одступања површинске фигуре мере се интерферометријом. Функције уклањања се примењују за одређивање времена задржавања и генерисање оптимизованих путања алата.
Корекција затворене петље
Итеративни циклуси обраде и мерења се настављају све док се не постигну циљеви прецизности RMS/PV.
Кључне карактеристике машине за полирање јонским снопом
Универзална компатибилност са површинама– Обрађује равне, сферне, асферичне и површине слободног облика
Ултра-стабилна брзина уклањања– Омогућава корекцију фигура у субнанометарским тачкама
Обрада без оштећења– Нема подземних оштећења или структурних промена
Доследне перформансе– Подједнако добро функционише на материјалима различите тврдоће
Корекција ниске/средње фреквенције– Елиминише грешке без стварања артефаката средњих/високих фреквенција
Ниске потребе за одржавањем– Дуг континуирани рад са минималним застојем
Главне техничке спецификације машине за полирање јонским снопом
Ставка | Спецификација |
Метод обраде | Јонско распршивање у окружењу високог вакуума |
Тип обраде | Бесконтактно обликовање и полирање површине |
Максимална величина радног комада | Φ4000 мм |
Осе кретања | 3-осовина / 5-осовина |
Стабилност уклањања | ≥95% |
Површинска тачност | PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (типично RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
Могућност корекције фреквенције | Уклања грешке ниских и средњих фреквенција без увођења грешака средњих/високих фреквенција |
Непрекидни рад | 3–5 недеља без одржавања вакуума |
Трошкови одржавања | Ниско |
Могућности обраде машине за полирање јонским снопом
Подржани типови површина
Једноставно: Равно, сферно, призма
Комплекс: Симетрична/асиметрична асфера, ваносна асфера, цилиндрична
Специјално: Ултратанка оптика, летвичаста оптика, хемисферична оптика, конформна оптика, фазне плоче, површине слободног облика
Подржани материјали
Оптичко стакло: кварц, микрокристално, К9, итд.
Инфрацрвени материјали: силицијум, германијум итд.
Метали: алуминијум, нерђајући челик, легура титанијума итд.
Кристали: YAG, монокристални силицијум карбид, итд.
Тврди/крхки материјали: силицијум карбид, итд.
Квалитет површине / Прецизност
ПВ < 10 нм
RMS ≤ 0,5 nm


Студије случаја обраде машине за полирање јонским снопом
Случај 1 – Стандардно равно огледало
Радни предмет: кварцна равна површина Д630 мм
Резултат: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm
Случај 2 – Рефлектујуће огледало за рендгенске зраке
Радни предмет: равна силицијумска плоча 150 × 30 мм
Резултат: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Нагиб 0,13 µrad
Случај 3 – Огледало ван осе
Обрадак: Огледало ван осе, D326 mm
Резултат: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm
Најчешћа питања о кварцним наочарима
Најчешћа питања – Машина за полирање јонским снопом
П1: Шта је полирање јонским снопом?
А1:Полирање јонским снопом је бесконтактни процес који користи фокусирани сноп јона (као што су јони аргона) за уклањање материјала са површине радног предмета. Јони се убрзавају и усмеравају ка површини, узрокујући уклањање материјала на атомском нивоу, што резултира ултра глатким завршним обрадама. Овај процес елиминише механичко напрезање и оштећења под површином, што га чини идеалним за прецизне оптичке компоненте.
П2: Које врсте површина може да обрађује машина за полирање јонским снопом?
А2:TheМашина за полирање јонским снопомможе обрађивати разне површине, укључујући једноставне оптичке компоненте као што суравни, сфере и призме, као и сложене геометрије као што суасфере, ваносне асфереиповршине слободног обликаПосебно је ефикасан на материјалима као што су оптичко стакло, инфрацрвена оптика, метали и тврди/крхки материјали.
П3: Са којим материјалима може да ради машина за полирање јонским снопом?
А3:TheМашина за полирање јонским снопомможе полирати широк спектар материјала, укључујући:
-
Оптичко стаклоКварц, микрокристални, К9, итд.
-
Инфрацрвени материјалиСилицијум, германијум, итд.
-
МеталиАлуминијум, нерђајући челик, легура титанијума итд.
-
Кристални материјалиYAG, монокристални силицијум карбид, итд.
-
Остали тврди/крхки материјалиСилицијум карбид, итд.
О нама
XKH је специјализован за високотехнолошки развој, производњу и продају специјалног оптичког стакла и нових кристалних материјала. Наши производи служе оптичкој електроници, потрошачкој електроници и војсци. Нудимо сафирне оптичке компоненте, поклопце за сочива мобилних телефона, керамику, LT, силицијум карбид SIC, кварц и полупроводничке кристалне плочице. Са стручним знањем и најсавременијом опремом, истичемо се у обради нестандардних производа, циљајући да будемо водеће високотехнолошко предузеће у области оптоелектронских материјала.
