6-инчне 150 мм силицијум-карбидне SiC плочице типа 4H-N за MOS или SBD производњу, истраживање и лажни квалитет
Области примене
6-инчна подлога од силицијум карбида са монокристалом игра кључну улогу у више индустрија. Прво, широко се користи у полупроводничкој индустрији за израду електронских уређаја велике снаге као што су енергетски транзистори, интегрисана кола и енергетски модули. Његова висока топлотна проводљивост и отпорност на високе температуре омогућавају боље одвођење топлоте, што резултира побољшаном ефикасношћу и поузданошћу. Друго, силицијум карбидне плочице су неопходне у истраживачким областима за развој нових материјала и уређаја. Поред тога, силицијум карбидна плочица налази широку примену у области оптоелектронике, укључујући производњу ЛЕД диода и ласерских диода.
Спецификације производа
Монокристална подлога силицијум карбида од 6 инча има пречник од 6 инча (приближно 152,4 мм). Храпавост површине је Ra < 0,5 nm, а дебљина је 600 ± 25 μm. Подлога се може прилагодити са проводљивошћу N-типа или P-типа, на основу захтева купца. Штавише, показује изузетну механичку стабилност, способну да издржи притисак и вибрације.
Пречник | 150±2,0 мм (6 инча) | ||||
Дебљина | 350 μm±25 μm | ||||
Оријентација | На оси: <0001>±0,5° | Ван осе: 4,0° према 1120±0,5° | |||
Политип | 4H | ||||
Отпорност (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·цм/0,015~0,025 охм·цм | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Примарна равна оријентација | {10-10}±5,0° | ||||
Дужина примарне равне површине (мм) | 47,5 мм±2,5 мм | ||||
Ивица | Закошење | ||||
TTV/Луц /Искривљење (ум) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM предњи део (Si-face) | Пољски Ra≤1 nm | ||||
ЦМП Ра≤0,5 нм | |||||
Дугорочна вредност (LTV) | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
ТТВ | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Кора поморанџе/костице/пукотине/контаминација/мрље/пруге | Ниједан | Ниједан | Ниједан | ||
увлачења | Ниједан | Ниједан | Ниједан |
Монокристална подлога силицијум карбида од 6 инча је високоперформансни материјал који се широко користи у полупроводничкој, истраживачкој и оптоелектронској индустрији. Нуди одличну топлотну проводљивост, механичку стабилност и отпорност на високе температуре, што је чини погодном за израду електронских уређаја велике снаге и истраживање нових материјала. Нудимо различите спецификације и опције прилагођавања како бисмо задовољили различите захтеве купаца.Контактирајте нас за више детаља о силицијум карбидним плочицама!
Детаљан дијаграм

