3-инчне високочисте (недопиране) силицијум-карбидне плочице, полуизолационе Sic подлоге (HPSl)
Некретнине
1. Физичка и структурна својства
●Врста материјала: Силицијум карбид (SiC) високе чистоће (недопирани)
●Пречник: 3 инча (76,2 мм)
●Дебљина: 0,33-0,5 мм, прилагодљиво на основу захтева примене.
●Кристална структура: 4H-SiC политип са хексагоналном решетком, познат по високој мобилности електрона и термичкој стабилности.
●Оријентација:
Стандард: [0001] (C-раван), погодно за широк спектар примена.
oОпционо: Ван осе (нагиб 4° или 8°) за побољшани епитаксијални раст слојева уређаја.
●Равност: Укупна варијација дебљине (TTV) ●Квалитет површине:
oПолирано до oНиске густине дефеката (<10/cm² густине микроцеви). 2. Електрична својства ●Отпорност: >109^99 Ω·cm, одржава се елиминацијом намерних примеса.
●Диелектрична чврстоћа: Издржљивост на висок напон са минималним диелектричним губицима, идеална за примене велике снаге.
●Топлотна проводљивост: 3,5-4,9 W/cm·K, што омогућава ефикасно одвођење топлоте у уређајима високих перформанси.
3. Термичка и механичка својства
●Широки енергетски процеп: 3,26 eV, подржава рад под високим напоном, високом температуром и условима високог зрачења.
●Тврдоћа: Мосова скала 9, што обезбеђује отпорност на механичко хабање током обраде.
●Коефицијент термичког ширења: 4,2×10−6/K4,2 \cdot 10^{-6}/\text{K}4,2×10−6/K, што обезбеђује димензионалну стабилност при температурним варијацијама.
Параметар | Производни разред | Оцена истраживања | Думми разред | Јединица |
Оцена | Производни разред | Оцена истраживања | Думми разред | |
Пречник | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Дебљина | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Оријентација плочице | На оси: <0001> ± 0,5° | На оси: <0001> ± 2,0° | На оси: <0001> ± 2,0° | степен |
Густина микроцеви (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | цм−2^-2−2 |
Електрична отпорност | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Допант | Недопирани | Недопирани | Недопирани | |
Примарна оријентација равног стана | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | степен |
Дужина примарне равне површине | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Секундарна дужина равне површине | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Секундарна равна оријентација | 90° у смеру часова од примарне равни ± 5,0° | 90° у смеру часова од примарне равни ± 5,0° | 90° у смеру часова од примарне равни ± 5,0° | степен |
Искључење ивица | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Bow/Warp | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Храпавост површине | Si-страна: CMP, C-страна: Полирана | Si-страна: CMP, C-страна: Полирана | Si-страна: CMP, C-страна: Полирана | |
Пукотине (светло високог интензитета) | Ниједан | Ниједан | Ниједан | |
Хексагоналне плоче (светло високог интензитета) | Ниједан | Ниједан | Кумулативна површина 10% | % |
Политипске области (светло високог интензитета) | Кумулативна површина 5% | Кумулативна површина 20% | Кумулативна површина 30% | % |
Огреботине (светло високог интензитета) | ≤ 5 огреботина, кумулативна дужина ≤ 150 | ≤ 10 огреботина, кумулативна дужина ≤ 200 | ≤ 10 огреботина, кумулативна дужина ≤ 200 | mm |
Ошкргавање ивица | Ниједна ≥ 0,5 мм ширина/дубина | 2 дозвољена ≤ 1 mm ширина/дубина | 5 дозвољено ≤ 5 mm ширине/дубине | mm |
Површинска контаминација | Ниједан | Ниједан | Ниједан |
Апликације
1. Енергетска електроника
Широка енергетска забрањена зона и висока топлотна проводљивост HPSI SiC подлога чине их идеалним за уређаје који раде у екстремним условима, као што су:
●Високонапонски уређаји: Укључујући MOSFET-ове, IGBT-ове и Шоткијеве баријерне диоде (SBD) за ефикасну конверзију снаге.
●Системи обновљиве енергије: као што су соларни инвертори и контролери ветротурбина.
●Електрична возила (EV): Користе се у инверторима, пуњачима и системима погонског склопа ради побољшања ефикасности и смањења величине.
2. РФ и микроталасне примене
Висока отпорност и ниски диелектрични губици HPSI плочица су неопходни за радиофреквентне (РФ) и микроталасне системе, укључујући:
●Телекомуникациона инфраструктура: Базне станице за 5G мреже и сателитске комуникације.
●Ваздухопловство и одбрана: Радарски системи, антене са фазираним низом и компоненте авионике.
3. Оптоелектроника
Транспарентност и широка енергетска ширина 4H-SiC-а омогућавају његову употребу у оптоелектронским уређајима, као што су:
●УВ фотодетектори: За праћење животне средине и медицинску дијагностику.
●ЛЕД диоде велике снаге: Подржавају системе осветљења у чврстом стању.
●Ласерске диоде: За индустријске и медицинске примене.
4. Истраживање и развој
HPSI SiC подлоге се широко користе у академским и индустријским истраживачко-развојним лабораторијама за истраживање напредних својстава материјала и израду уређаја, укључујући:
●Епитаксијални раст слоја: Студије о смањењу дефеката и оптимизацији слоја.
●Студије мобилности носилаца: Истраживање транспорта електрона и шупљина у материјалима високе чистоће.
●Прототипирање: Почетни развој нових уређаја и кола.
Предности
Врхунски квалитет:
Висока чистоћа и ниска густина дефеката пружају поуздану платформу за напредне примене.
Термичка стабилност:
Одлична својства одвођења топлоте омогућавају уређајима да ефикасно раде под условима велике снаге и температуре.
Широка компатибилност:
Доступне оријентације и опције прилагођене дебљине осигуравају прилагодљивост различитим захтевима уређаја.
Трајност:
Изузетна тврдоћа и структурна стабилност минимизирају хабање и деформације током обраде и рада.
Свестраност:
Погодно за широк спектар индустрија, од обновљивих извора енергије до ваздухопловства и телекомуникација.
Закључак
3-инчна полуизолациона плочица од силицијум карбида високе чистоће представља врхунац технологије супстрата за уређаје велике снаге, високе фреквенције и оптоелектронске уређаје. Њена комбинација одличних термичких, електричних и механичких својстава обезбеђује поуздане перформансе у захтевним окружењима. Од енергетске електронике и РФ система до оптоелектронике и напредног истраживања и развоја, ове HPSI супстрати пружају основу за иновације сутрашњице.
За више информација или да бисте наручили, контактирајте нас. Наш технички тим вам је на располагању да вам пружи смернице и опције прилагођавања прилагођене вашим потребама.
Детаљан дијаграм



